[发明专利]形状测量装置、形状测量方法、和形状测量程序

权利要求书

1.一种形状测量装置，包括：

载物台，其上安装测量对象；

光投射单元，其被构造为利用具有用于检查所述测量对象的姿态的第一图案的第一光从斜上方照射安装在所述载物台上的所述测量对象，并且利用具有用于测量所述测量对象的形状的第二图案的第二光从斜上方照射安装在所述载物台上的所述测量对象，所述第二图案与所述第一图案不同；

光接收单元，其被布置在所述载物台的上方，并且被构造为接收被安装在所述载物台上的所述测量对象反射的光，并输出表示光接收量的光接收信号，并且被构造为对安装在所述载物台上的所述测量对象进行成像；

数据生成单元，其被构造为基于所述光接收单元输出的所述光接收信号，通过三角测距法来生成表示所述测量对象的立体形状的立体形状数据；

显示部，其被构造为显示被所述光接收单元捕获的所述测量对象的图像；

控制部，其用于在进行形状测量之前，控制所述光投射单元用所述第一光照射所述测量对象并且控制所述显示部显示所述光接收单元捕获的所述测量对象的图像，以及在进行形状测量时，控制所述光投射单元用所述第二光照射所述测量对象并且控制所述数据生成单元生成所述立体形状数据；以及

姿态调节单元，其可操作用于在利用所述光投射单元以所述第一光照射所述测量对象时来调节所述测量对象的姿态。

2.如权利要求1所述的形状测量装置，还包括：

估计单元，其用于在所述光投射单元以所述第一光照射所述测量对象时，基于所述光接收单元捕获的所述测量对象的图像，来估计通过三角测距法生成的所述立体形状数据的缺陷部分，其中

所述控制部控制所述显示部显示所述测量对象的图像，以识别所述估计单元估计出的所述缺陷部分。

3.如权利要求2所述的形状测量装置，其中

所述估计单元随着由所述姿态调节单元调节的所述测量对象的姿态的改变，顺序地估计所述缺陷部分；以及

所述控制部控制所述显示部顺序地更新并显示所述测量对象的图像，以顺序识别所述估计单元估计出的缺陷部分。

4.如权利要求2所述的形状测量装置，其中所述立体形状数据的缺陷部分对应于所述测量对象的形成阴影的部分或者所述测量对象的出现所述第二光的多重反射的部分。

5.如权利要求1所述的形状测量装置，其中所述第一图案包括：

第一条纹图案，其由多个第一条纹构成，所述多个第一条纹在第一方向上延伸且在与所述第一方向相交的第二方向上排列；

第二条纹图案，其由多个第二条纹构成，所述多个第二条纹在与所述第一方向不同的第三方向上延伸且在与所述第三方向相交的第四方向上排列；

点图案，其由多个点构成；

格子图案，其包括彼此相交的所述多个第一条纹和所述多个第二条纹；或者

均匀图案，其在至少所述测量对象的表面的区域中具有均匀光量分布。

6.如权利要求1所述的形状测量装置，其中

所述光投射单元包括在不同方向从不同位置利用所述第一光来照射所述测量对象的第一光投射单元和第二光投射单元，以及

所述控制部控制所述第一光投射单元来利用所述第一光来照射所述测量对象，并在所述第一光投射单元照射所述第一光时，控制所述显示部显示所述光接收单元捕获的所述测量对象的图像作为第一图像，并且所述控制部控制所述第二光投射单元利用所述第一光来照射所述测量对象，并在所述第二光投射单元照射所述第一光时，控制所述显示部显示所述光接收单元捕获的所述测量对象的图像作为第二图像，或者所述控制部在所述形状测量之前控制所述显示部将所述第一图像和所述第二图像合成作为第三图像并且显示所述第三图像。