[发明专利]从废弃的晶片锯切浆回收硅和碳化硅的方法和设备无效
| 申请号： | 201310364485.8 | 申请日： | 2009-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103481383A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | J·A·法拉沃利塔 | 申请（专利权）人： | 伊奥西尔能源公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B24B57/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 废弃 晶片 锯切浆 回收 碳化硅 方法 设备 | ||
1.一种形成硅的方法，其包括：
(a)向第一容器提供碘及碳化硅和硅的混合物，从而在所述第一容器中形成包含四碘化硅和/或二碘化硅的蒸气，其中所述混合物从硅锯切中回收；
(b)向第二容器中提供所述包含四碘化硅和/或二碘化硅的蒸气；
(c)在真空下从所述第二容器中的所述四碘化硅和/或二碘化硅形成硅和碘(I2)。
2.根据权利要求1的方法，其中所述第二容器的压力基本上低于大气压。
3.根据权利要求1的方法，其中所述第一容器在大约600℃至900℃的温度下操作。
4.根据权利要求1的方法，其中所述第二容器在大约900至1300℃的温度下操作。
5.根据权利要求1的方法，进一步包括从所述第二容器纯化和回收残留的四碘化硅。
6.根据权利要求1的方法，进一步包括从所述第一容器回收碳化硅微粒。
7.根据权利要求1的方法，其中在(c)中的所述硅具有至少大约99.9999％的纯度。
8.根据权利要求1的方法，其中，在(c)中，所述硅沉积到所述第二容器中的颗粒上。
9.根据权利要求1的方法，在(a)之前，进一步包括：
从硅锯切中除去含铁的微粒，从而产生浆产物；
从所述浆产物除去液体，从而产生所述碳化硅和硅的混合物。
10.根据权利要求9的方法，进一步包括回收所述含铁微粒。
11.根据权利要求1的方法，进一步包括从所述第一容器回收所述碳化硅微粒。
12.根据权利要求1的方法，进一步包括从所述浆产物回收乙二醇、油或水中的至少一种。
13.根据权利要求1的方法，其中所述第一容器是流化床反应器。
14.根据权利要求1或13的方法，其中所述第二容器是流化床反应器。
15.根据权利要求1的方法，其中在(c)中形成的所述硅具有至少99.9999％的纯度。
16.根据权利要求1的方法，其中在(c)中形成的所述硅具有至少99.999999％的纯度。
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