[发明专利]一种在线提高柔性基材膜层质量装置无效
申请号: | 201310351224.2 | 申请日: | 2013-08-13 |
公开(公告)号: | CN103409727A | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 李晨光 | 申请(专利权)人: | 南昌欧菲光科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 施秀瑾 |
地址: | 330000 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 在线 提高 柔性 基材 质量 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种在线提高柔性基材膜层质量装置,属于卷绕镀膜机在线监测装置。
背景技术
柔性透明导电膜是通过真空溅射方法,在透明聚脂膜片上沉积含银等金属的高导膜层,它具有极高透明度(70~85%),克服常规屏蔽玻璃透明度低(40%)的缺点,同时膜片很薄(0.125mm、0.175mm和0.188mm),可以直接贴覆在常规玻璃或有机玻璃表面,实现EMI电磁干扰屏蔽,由于膜片本身带有保护层,可以在恶劣的工作环境中工作。
近年来柔性透明导电薄膜应用随着触摸屏的发展越来越广泛,如手机,家电,汽车,家具等等,柔性透明导电薄膜采用卷绕镀膜设备镀制,随着技术水平提高,触摸屏导电膜层电阻越来越低,对品质要求越来越高。
目前,对柔性基材镀膜品质检测一般为镀膜后在机器外测试,如反射,透射,方阻;或者在基材表面放置单个光纤探头,实现在线监测膜层反射率及透射率。
发明内容
为了克服上述缺陷,本发明目的在于提供一种提高柔性基材膜层镀膜质量,提高膜层均匀性,在线及时调整工艺参数以保证提高产品良品数的在线提高柔性基材膜层质量装置。
为了达到上述目的,本发明采用如下技术方案:
一种在线提高柔性基材膜层质量装置,其结构它包括透射模块及反射模块,透射模块与反射模块包含各自光谱转换装置,光谱探测器放置于卷绕镀膜设备镀膜鼓与收卷室之间。
透射模块包含一个第一发射模块及四个接收模块:第一接收模块、第二接收模块、第三接收模块、第四接收模块。
发射模块内发射光源为卤钨灯,发射光分为四路,一路作为参考信号,不经过基材直接回到第四接收模块;其余三路经由发射器入射至基材表面,接收器:第一透射探头、第二透射探头、第三透射探头将光谱信号分别送入第一接收模块、第二接收模块、第三接收模块。
发射器与接收器:第一透射探头、第二透射探头、第三透射探头均垂直与基材表面,透射模块置于真空系统外侧,发射光及透射光经光纤传送。
反射模块包含一个第二发射模块及四个接收模块:第五接收模块、第六接收模块、第七接收模块、第八接收模块。
第二发射模块内发射光源为卤钨灯,发射光分为四路,一路作为参考信号,不经过基材直接回到第八接收模块;其余三路经由发射器入射至基材表面,接收器:第一反射探头、第二反射探头、第三反射探头将光谱信号分别送入第五接收模块、第六接收模块、第七接收模块。
每个发射器与接收器:第一反射探头、第二反射探头、第三反射探头位于同一位置,均垂直于基材表面,反射模块置于真空系统外侧,发射光及反射光信号经光纤传送。
透射模块及反射模块的接收模块内放置光电二极管阵列光谱仪。
基材三个位置放置光谱探头,三个位置透射光谱与反射光谱均可探测。
本发明与现有技术相比有如下技术优点:
本发明在线掌控镀膜质量,及时调整工艺参数,达到连续生产,极大地避免产品不良,以实现长期稳定的批量性生产。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
1 透射模块,2 反射模块,3 数据处理装置,4 显示装置,5 第一接收模块,6 第二接收模块,7 第三接收模块,8 第四接收模块,9 第一发射模块,10基材,11 光纤,12 第一透射探头,13 第二透射探头,14 第三透射探头,15第二发射模块,16 第五接收模块,17 第六接收模块,18 第七接收模块,19 第八接收模块,20 第一反射探头,21 第二反射探头,22 第三反射探头。
图2 为本发明安装位置结构示意图。
23放卷室,24 透射探头,25 反射探头,26收卷室,27 镀膜腔室,28 镀膜鼓。
图3为本发明具体实施结构图。
具体实施方式
为了详细叙述本发明专利的上述特点,优势和工作原理,下面结合说明书附图1、2、3和具体实施方式对本发明做进一步的说明,但本发明所保护的范围并不局限于此。
一种在线提高柔性基材膜层质量装置,其结构它包括透射模块1及反射模块2,透射模块1与反射模块2包含各自光谱转换装置,光谱探测器放置于卷绕镀膜设备镀膜鼓28与收卷室26之间。
透射模块1包含一个第一发射模块9及四个接收模块:第一接收模块5、第二接收模块6、第三接收模块7、第四接收模块8。
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