[发明专利]一种在线提高柔性基材膜层质量装置

权利要求书

1.一种在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：其结构它包括透射模块（1）及反射模块（2），透射模块（1）与反射模块（2）包含各自光谱转换装置，光谱探测器放置于卷绕镀膜设备镀膜鼓（28）与收卷室（26）之间。

2.如权利要求1所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：透射模块（1）包含一个第一发射模块（9）及四个接收模块:第一接收模块（5）、第二接收模块（6）、第三接收模块（7）、第四接收模块（8）。

3.如权利要求2所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：发射模块（9）内发射光源为卤钨灯，发射光分为四路，一路作为参考信号，不经过基材直接回到第四接收模块（8）；其余三路经由发射器入射至基材表面，接收器：第一透射探头（12）、第二透射探头（13）、第三透射探头（14）将光谱信号分别送入第一接收模块（5）、第二接收模块（6）、第三接收模块（7）。

4.如权利要求3所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：发射器与接收器：第一透射探头（12）、第二透射探头（13）、第三透射探头（14）均垂直与基材（10）表面，透射模块置于真空系统外侧，发射光及透射光经光纤（11）传送。

5.如权利要求1所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：反射模块（2）包含一个第二发射模块（15）及四个接收模块：第五接收模块（16）、第六接收模块（17）、第七接收模块（18）、第八接收模块（19）。

6.如权利要求5所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：第二发射模块（15）内发射光源为卤钨灯，发射光分为四路，一路作为参考信号，不经过基材直接回到第八接收模块（19）；其余三路经由发射器入射至基材表面，接收器：第一反射探头（20）、第二反射探头（21）、第三反射探头（22）将光谱信号分别送入第五接收模块（16）、第六接收模块（17）、第七接收模块（18）。

7.如权利要求6所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：每个发射器与接收器：第一反射探头（20）、第二反射探头（21）、第三反射探头（22）位于同一位置，均垂直于基材（10）表面，反射模块置于真空系统外侧，发射光及反射光信号经光纤（11）传送。

8.如权利要求1所述的在线提高柔性基材膜层质量装置，其特征在于：透射模块（1）及反射模块（2）的接收模块内放置光电二极管阵列光谱仪。