[发明专利]平面型薄膜热电器件的制作方法和制作装置

权利要求书

1.一种平面型薄膜热电器件的制作方法，其特征在于，该制作方法包括：

步骤一：制作镂空掩模板（7、8、9），该镂空掩模板的镂空图案用于限定所述平面型薄膜热电器件的至少部分图案，并且将衬底（1）固定在衬底托（6）上；

步骤二：在所述衬底托（1）和镂空掩模板（7、8、9）上分别形成位置相对的至少一套定位孔（10），每套所述定位孔中包括至少三个定位孔（10），通过在所述定位孔（10）上放置定位滚珠（11）以将所述镂空掩模板（7、8、9）间隔地定位安装在所述衬底托（6）上；

步骤三：将所述衬底托（6）和镂空掩模板（7、8、9）装夹固定，利用物理气相沉积技术并透过所述镂空掩模板（7、8、9）在所述衬底（1）上完成该镂空掩模板（7、8、9）的镂空图案的沉积制作。

2.根据权利要求1所述的平面型薄膜热电器件的制作方法，其特征在于，用于形成所述平面型薄膜热电器件的图案的所述镂空掩模板（7、8、9）为多块，并且所述制作方法还包括：

步骤四：更换所述镂空掩模板（7、8、9）并定位，和/或将完成沉积制作的所述镂空掩模板（7、8、9）拆卸装夹且移动位置后重新定位，重复步骤三，直至完成所述薄膜热电器件的整个图案的沉积制作。

3.根据权利要求2所述的平面型薄膜热电器件的制作方法，其特征在于，在步骤二中，所述衬底托（6）或镂空掩模板（7、8、9）上形成有多套所述定位孔（10），每套中包括至少三个尺寸相同的所述定位孔（10），并且各套所述定位孔（10）的尺寸不同，从而通过相应大小的定位滚珠（11）将所述镂空掩模板（7、8、9）定位安装在所述衬底托（6）上以适应不同厚度的所述衬底（1）。

4.根据权利要求2所述的平面型薄膜热电器件的制作方法，其特征在于，所述平面型薄膜热电器件包括形状相同的多个P型热电臂和N型热电臂，该多个P型热电臂和N型热电臂相互平行且等间隔地交替排布，所述制作方法包括：

在步骤一中，制作一块热电臂镂空掩模板（7）以限定所述P型热电臂或N型热电臂的图案；

在步骤二中，在所述衬底托（6）或所述一块热电臂镂空掩模板（7）上形成两套定位孔（10），该两套定位孔沿所述P型热电臂和N型热电臂的排布方向间隔设置，并且该间隔与相邻的所述P型热电臂和N型热电臂的间隔相同；或者，所述衬底托（6）和所述一块热电臂镂空掩模板（7）上分别形成两套定位孔（10），当所述衬底托（6）和所述一块热电臂镂空掩模板（7）的其中一者上的两套所述定位孔（10）沿所述P型热电臂和N型热电臂的排布方向间隔设置，并且该间隔与相邻的所述P型热电臂和N型热电臂的间隔相同时，所述衬底托（6）和所述一块热电臂镂空掩模板（7）的其中另一者上的两套所述定位孔（10）沿所述P型热电臂和N型热电臂的排布方向的间隔为零；

在步骤三中，将所述热电臂镂空掩模板（7）以所述两套定位孔中的一套定位孔（10）定位安装，并在步骤四中，将所述镂空掩模板（7）拆卸装夹且移动位置后，以另一套定位孔（10）重新定位。

5.根据权利要求2所述的平面型薄膜热电器件的制作方法，其特征在于，所述平面型薄膜热电器件包括形状相同的多个P型热电臂和N型热电臂，该多个P型热电臂和N型热电臂沿圆周方向交替地等角度间隔设置且沿径向发散，所述制作方法包括：

在步骤一中，制作一块热电臂镂空掩模板（7）以限定所述P型热电臂或N型热电臂的图案；

在步骤二中，在所述衬底托（6）或所述一块热电臂镂空掩模板（7）上形成两套定位孔（10），该两套定位孔沿所述圆周方向间隔设置，该间隔角度与相邻的所述P型热电臂和N型热电臂的间隔角度相同；或者，所述衬底托（6）和所述一块热电臂镂空掩模板（7）上分别形成两套定位孔（10），当所述衬底托（6）和所述一块热电臂镂空掩模板（7）的其中一者上的两套所述定位孔（10）沿所述圆周方向间隔设置，该间隔角度与相邻的所述P型热电臂和N型热电臂的间隔角度相同时，所述衬底托（6）和所述一块热电臂镂空掩模板（7）的其中另一者上的两套所述定位孔（10）沿所述圆周方向的间隔角度为零；

在步骤三中，将所述镂空掩模板（7）以所述两套定位孔中的一套定位孔定位（10）安装，并在步骤四中，将所述镂空掩模板（7）拆卸装夹且移动位置后，以另一套定位孔（10）重新定位。

6.根据权利要求2所述的平面型薄膜热电器件的制作方法，其特征在于，在所述镂空掩模板（7、8、9）的四周加装固定板（12）。