[发明专利]电容式指纹感测集成电路的手指感测结构

权利要求书

1.一种电容式指纹集成电路的手指感测结构，其特征在于，包含：

多个感测电极，形成一阵列用以界定一感测区；

一电容感应层，覆盖于该多个感测电极；

一功能金属层，设置于该电容感应层上并具有多个鱼骨状结构，该多个鱼骨状结构分布于该多个感测电极的间隙或周边，其中该功能金属层包含一手指感测金属部与一ESD防护金属部，且该手指感测金属部与该ESD防护金属部分别具有部分该多个鱼骨状结构；

一共同导电层，连接该多个鱼骨状结构并环绕该感测区用以将信号传出，其中该共同导电层包含相互电性隔绝的一手指感测导电部与一ESD防护导电部，且该手指感测金属部的该多个鱼骨状结构与该ESD防护金属部的该多个鱼骨状结构分别电性连接该手指感测导电部与该ESD防护导电部；

一信号处理电路，设置于该多个感测电极下方并与其电性连接；

一绝缘层，设置于该多个感测电极与该信号处理电路之间；以及

一保护层，覆盖该电容感应层与该功能金属层，其中

每一该鱼骨状结构至少包含一脊部；

该脊部在该多个感测电极的该阵列的一第一方向上与该多个感测电极交替排列，该脊部沿着一第二方向延伸且该第二方向与该多个感测电极的该阵列的该第一方向垂直；以及

该手指感测导电部的该脊部与该ESD防护导电部的该脊部的至少其中一端分别连接至该手指感测导电部与该ESD防护导电部。

2.如权利要求1所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构，其特征在于，该鱼骨状结构更包含至少一肋部，其中

该肋部从该脊部的两侧沿着该第一方向延伸并且在该第二方向上与该多个感测电极交替排列；

该肋部的末端形成一尖锐状端点以及一内凹状端点至少其中之一；以及

在两两相邻的该脊部的该肋部末端之间具有一间隙。

3.如权利要求1所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构，其特征在于，该共同导电层、该功能金属层为同一平面。

4.如权利要求1所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构，其特征在于，该共同导电层的该手指感测导电部与该手指感测金属部电性连接至一电容电阻电路。

5.如权利要求1所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构，其特征在于，该共同导电层的该ESD防护导电部与该ESD防护金属部电性连接至一外部接地电压。

6.如权利要求1所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构，其特征在于，该电容感应层由沉积法沉积硅氧氮化物所制造而成，或由氮化硅及氧化硅交替堆迭沉积所制造而成。

7.一种电容式指纹集成电路的手指感测结构，其特征在于，包含：

多个感测电极，形成一阵列用以界定一感测区；

一功能金属层，与该多个感测电极共平面设置并具有多个鱼骨状结构，该多个鱼骨状结构分布于该多个感测电极间的间隙与周边，其中该功能金属层包含一手指感测金属部与一ESD防护金属部，且该手指感测金属部与该ESD防护金属部分别具有部分该多个鱼骨状结构；

一电容感应层，覆盖于该多个感测电极与该功能金属层；

一共同导电层，连接该多个鱼骨状结构并环绕该感测区用以将信号传出，其中该共同导电层包含相互电性隔绝的一手指感测导电部与一ESD防护导电部，且该手指感测金属部的该多个鱼骨状结构与该ESD防护金属部的该多个鱼骨状结构分别电性连接该手指感测导电部与该ESD防护导电部；

一信号处理电路，设置于该感测电极下方并与其电性连接；

一绝缘层，设置于该多个感测电极与该信号处理电路之间；以及

一保护层，覆盖该电容感应层，其中

每一该鱼骨状结构至少包含一脊部；

该脊部在该多个感测电极的该阵列的一第一方向上与该多个感测电极交替排列，该脊部沿着一第二方向延伸且该第二方向与该多个感测电极的该阵列的该第一方向垂直；以及

该手指感测导电部的该脊部与该ESD防护导电部的该脊部的至少其中一端分别连接至该手指感测导电部与该ESD防护导电部。