[发明专利]一种对位系统

说明书

技术领域

本发明涉及显示装置的制造领域，特别涉及一种对位系统。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器（ThinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay， TFT-LCD）具有体积小、功耗低、无辐射等优点，在当前的平板显示器市场中 占据了主导地位，广泛应用于台式电脑、笔记本电脑、个人数字助理（Personal DigitalAssistant，PDA）、手机、电视、监视器等领域。

TFT-LCD制造过程大致可以分为以下三个阶段：

一、Array工艺（阵列工艺）；

在一张玻璃（Glass）基板上经过多次掩膜工艺，形成独立的TFT像素阵 列电路，每个像素阵列区对应一个液晶显示屏（Panel），以形成阵列基板（TFT 基板）。

二、Cell工艺（对盒工艺）；

在TFT基板上涂布液晶，并覆盖彩色滤光片，从而拼合成LCD面板，对 该LCD面板进行切割处理，从而形成独立的液晶显示屏。

三、Module工艺（模组工艺）；

为每个液晶显示屏安装背光源，光学膜片以及周边电路等，从而形成完整 的TFT-LCD显示模组。

在将玻璃基板投入Array工艺时，以底栅型TFT-LCD为例，第一道制作 工序一般是制作栅极和栅线，其中，在第一道制作工序中还同时在玻璃基板的 边角上制作AlignmentMark（对位标记），该AlignmentMark一般制作成十字 形状，且采用金属薄膜制作，因此，该AlignmentMark不透光。阵列基板上的 AlignmentMark在上述三个制作阶段中的作用至关重要，由于每道制作工序 中，一般都需要将玻璃基板夹持到该工序对应的设备上（如溅射（sputter）设 备、PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学 气相沉积）设备、曝光设备、涂胶显影（Track）机（即光刻工序中除曝光设备 之外的其他设备）等等），以实现对该玻璃基板进行相应操作，如成膜操作、 曝光操作、刻蚀操作等等，但由于各设备的夹持构件在夹持玻璃基板时，有可 能会使玻璃基板偏离其标准位置（即夹持构件无误差的理想状态下该玻璃基板 应在的位置），因此，在对玻璃基板进行相应的操作之前，都要对玻璃基板进 行对位，以确认玻璃基板对位是否良好。

目前采用的对玻璃基板上的AlignmentMark进行对位的方式为：预先保存 玻璃基板在标准位置时，该玻璃基板上的AlignmentMark的标准照片；在制作 过程中，若需要进行对位，则将拍摄到的该玻璃基板上的AlignmentMark的当 前照片与预先保存的标准照片进行对比，如果相同，则说明该玻璃基板对位准 确，并对该玻璃基板进行相应操作；如果不相同，则说明该玻璃基板的对位不 准确。

综上所述，现有液晶显示装置的制作过程中所采用的对位处理方式，处理 时间长，且处理效率低。

发明内容

本发明实施例提供了一种对位系统，用于解决现有的对位处理方式存在的 处理时间长，且处理效率低的问题。

本发明实施例提供了一种对位系统，该对位系统包括光源发射装置、光源 接收装置及处理器；其中：

光源发射装置位于待对位对象的一侧，且朝向所述待对位对象发射光线；

光源接收装置位于所述待对位对象的另一侧且位于所述待对位对象上设 置的对位标记对应的标准位置上，所述光源接收装置中朝向所述待对位对象的 端面上设置有多个用于感应所述光线的光感应器；

处理器接收每个所述光感应器传输的感应信号，并根据所述光感应器是否 感应到所述光线，判断所述待对位对象对位是否准确。

在实施中，处理器判断所述待对位对象对位是否准确包括：

若所述光源接收装置包含的至少一个光感应器未感应到所述光源发射装 置发射出的光线，则所述处理器确定所述待对位对象对位不准确；

若所述光源接收装置包含的所有光感应器均感应到所述光源发射装置发 射出的光线，则所述处理器确定所述待对位对象对位准确。