[发明专利]一种制作表面增强拉曼散射基底的方法

权利要求书

1.一种制作表面增强拉曼散射基底的方法，该方法以生物微结构为模板及溅射沉积金膜制作 表面增强拉曼散射基底，其特征在于，该方法包括以下步骤：

1)制作生物微结构模板；选取生物微结构模板，对选取的生物微结构模板进行清洗、晾干以 及整形处理；

2)用溅射沉积的方法在生物微结构模板上沉积不同厚度金膜，制作出实用面积大于1cm²的超 灵敏表面增强拉曼散射基底；

生物微结构模板是指表面上存在纳米、微米量级微结构的生物组织或生物身体部位；生物组 织或生物身体部位存在的纳米、微米量级微结构具有大于4mm²的面积，生物微结构模板中 的周期性微纳结构的周期的尺寸偏差不大于平均尺寸的30％且尺寸在10nm到2μm之间；所 述生物微结构模板为蝉翼上的纳米锥阵列结构；

步骤(1)中生物微结构模板的清洗、晾干以及整形处理方法具体步骤如下：

11)选取生物体表存在纳米、微米量级的微结构，直接作为生物微结构模板；

12)清洗：将生物微结构模板用纯净水进行多次清洗后，浸入高纯乙醇溶液中使用超声清洗机 进行超声清洗，超声清洗机功率30W，清洗10分钟，以去除生物微结构模板上的污渍释放 粘连的纳米锥，以保证蝉翼表面的纳米结构不粘连、均匀分布，进而保证了拉曼光谱强度具 有较小的偏差；

13)整形处理：将清洗干净的生物微结构模板铺平展开放置在载玻片或者硅片的硬质平面上， 压好晾干，然后利用无拉曼活性胶水平铺黏贴在硬质平面上；

步骤2)包括以下具体步骤：

21)打开磁控溅射或者离子束溅射真空镀膜机的真空镀膜腔，将清洗、整形好的生物微结构模 板放入真空镀膜样品池内并固定好，保证溅射原子方向与生物微结构模板的法线方向一致；

22)盖好真空镀膜腔，抽真空至10^-4帕，并设置镀膜厚度进行镀膜；通过精细调控镀膜厚度实 现微纳结构占空比的精细控制，即实现对微纳金属结构的微纳间隙尺寸的精细调控，可制作 小于10nm金属微纳间隙结构；当金膜厚度为300nm时，微纳间隙尺寸小于10nm。