[发明专利]微机械元件和微机械元件的制造方法

权利要求书

1.微机械元件(10)，尤其是一个微机械传感器，包括一个承载衬底(20)和一个罩形衬底(30)，其中，承载衬底(20)具有一个第一连接侧(21)和罩形衬底(30)具有一个第二连接侧(31)，其中，承载衬底(20)和罩形衬底(30)通过所述第一和第二连接侧(21，31)借助共晶的键合或金属焊接或玻璃焊接相互连接，其中，第一连接侧(21)具有一个包含一个微机械结构(29)的第一结构区(22)和一个第一边缘区(23)，其中，第一边缘区(23)至少部分地包围位于第一连接侧(21)的第一结构区(22)，其中，第二连接侧(31)具有一个位于第一结构区(22)对面的第二结构区(32)以及一个第二边缘区(33)，其中，第二边缘区(33)至少部分地包围位于第二连接侧(31)的第二结构区(32)，其特征在于，第一边缘区(23)具有一个第一连接区(24)和一个第一边界区(25)，第二边缘区(33)具有一个第二连接区(34)和一个第二边界区(35)，第一连接区(24)和第二连接区(34)相对地设置，第一边界区(25)与第二边界区(35)相对也设置，第一边界区(25)或第二边界区(35)具有：一个截止槽(41，42，43，44)或一个截止凸起(51，52)或既有一个截止槽(41，42，43，44)也有一个截止凸起(51，52)。

2.根据权利要求1所述的微机械元件(10)，其特征在于，第一边界区(25)设置在第一连接区(24)和第一结构区(22)之间和第二边界区(35)设置在第二连接区(34)和第二结构区(32)之间。

3.根据前述权利要求中任一项所述的微机械元件(10)，其特征在于，第一边缘区(23)除具有第一边界区(25)之外还具有一个第三边界区(26)，第二边缘区(33)除具有第二边界区(35)之外还具有一个第四边界区(36)，其中，第一连接区(24)位于第一与第三边界区(25，26)之间和第二连接区(34)位于第二与第四边界区(35，36)之间。

4.根据前述权利要求中任一项所述的微机械元件(10)，其特征在于，第一边缘区(23)完全包围位于第一连接侧(21)的第一结构区(22)和第二边缘区(33)完全包围位于第二连接侧(31)的第二结构区(32)。

5.根据前述权利要求中任一项所述的微机械元件(10)，其特征在于，共晶的键合通过一个第一键合配偶和一个第二键合配偶实现，其中，第一键合配偶设置在第一连接区(24)中和第二键合配偶设置在第二连接区(34)中。

6.根据前述权利要求中任一项所述的微机械元件(10)，其特征在于，一个设置在第一边缘区(23)中的截止凸起(51，52)接触第二边缘区(33)和/或一个设置在第二边缘区(33)中的截止凸起(51，52)接触第一边缘区(23)。

7.根据前述权利要求中任一项所述的微机械元件(10)，其特征在于，微机械结构(29)是一种传感器结构或一种执行机构结构，其中，优选，微机械结构(29)包括用于测量加速度和/或转速的传感器结构。

8.根据前述权利要求中任一项所述的微机械元件(10)，其特征在于，在承载衬底(20)的第一结构区(22)和罩形衬底(30)的第二结构区(32)之间具有一个预先给定的气体氛围，尤其是一个预先给定的内压。

9.用于制造根据前述权利要求中任一项所述的微机械元件(10)的方法，其特征在于，在一个第一步骤中一方面制造具有微机械结构(29)的承载衬底(20)和另一方面制造罩形衬底(30)和在一个第二步骤中，通过连接第一连接侧(21)与第二连接侧(31)而使承载衬底(20)和罩形衬底(30)连接。