[发明专利]成膜装置用基板传送托盘及外部开闭驱动装置

说明书

技术领域

本申请主张基于2012年10月10日申请的日本专利申请第2012-225406号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

本发明涉及一种成膜装置用基板传送托盘及外部开闭驱动装置。

背景技术

例如对基板等对象物进行成膜的成膜装置中，基板保持于托盘上而被传送。作为基板传送托盘已知有具备与基板的周缘部接触而支承基板的框体和使基板相对于该框体微动并使基板在框体的预定位置上定位的定位机构的托盘（例如参考专利文献1）。

专利文献1所记载的传送托盘将基板保持为使被成膜面沿铅垂方向，且具备通过基板的自身重量而使基板沿水平方向微动的L字状的支承部件作为定位机构。该L字状的支承部件被设置成能够与基板的底边及侧边分别抵接，且通过相对于框体进行回转来调节基板的位置。该L字状的支承部件被设置成与基板的横向两端部对应。

专利文献1：日本特开2010-103226号公报

近几年来伴随太阳能电池及液晶显示面板等的大型化，基板也被大型化。若基板的横向宽度较大且基板尺寸产生偏差，则导致上述L字状的支承部件变成2点支承，存在应力集中而基板产生缺陷的可能性。并且，上述L字状的支承部件中，若基板在成膜处理时被加热而膨胀，则基板在2点被支承，存在应力集中而使基板产生缺陷的可能性。

上述L字状的支承部件为了通过基板的自身重量使基板微动而被配置成能够与基板的底边抵接，因此在支承基板的上部侧的情况下无法适用。因此，根据基板的支承方向，难以使在多个支承方向上支承基板的力均匀化。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够实现在保持基板时作用于基板的应力的分散化，并且从多个方向保持基板的成膜装置用基板传送托盘。

本发明的目的在于提供一种能够对上述成膜装置用基板传送托盘未保持基板的开状态及保持基板的闭状态进行切换的外部开闭驱动装置。

本发明提供一种成膜装置用基板传送托盘，其在成膜装置中传送基板时能够保持基板，其中，将与被保持的基板的板厚方向正交且相互交叉的2个方向设为第1方向及第2方向，所述成膜装置用基板传送托盘具备：托盘主体，在第1方向上对置的一对边平行，并且在第2方向上对置的一对边平行；及基板支承部件，在维持与边平行的状态的同时能够向托盘主体的中央侧移动，且能够与基板的端面抵接，基板支承部件被安装于每个边。

该成膜装置用基板传送托盘具备在第1方向上对置的一对边平行并且在第2方向上对置的一对边平行的托盘主体，并且能够维持与托盘主体的边平行的状态的同时使基板支承部件移动而使基板支承部件与基板的端面抵接来支承基板。由此，能够避免基板的端面与基板支承部件点接触，因此能够使在保持基板时作用于基板的应力分散。并且，由于基板支承部件被安装于托盘主体的每个边上，因此能够从第1方向及第2方向这两侧保持基板，能够使在保持基板时作用于基板的应力分散。并且，通过使基板支承部件从多个方向向托盘主体的中央移动而与基板的端面抵接，从而能够调整基板的位置来保持基板。因此，即使在基板未准确地被配置于托盘主体的状态下，也能够对基板定位并进行保持。

成膜装置用基板传送托盘也可具备连杆机构，该连杆机构连结于多个基板支承部件，并使该基板支承部件相对于托盘主体的边平行地移动。由此，能够使多个基板支承部件联动而对基板定位并进行保持。通过以连杆机构使多个基板支承部件联动，从而能够使多个基板支承部件同时与基板抵接，能够使作用于基板的应力分散。