[发明专利]成膜装置用基板传送托盘及外部开闭驱动装置

权利要求书

1.一种成膜装置用基板传送托盘，其在成膜装置中传送基板时能够保持所述基板，其中，将与被保持的所述基板的板厚方向正交且相互交叉的2个方向设为第1方向及第2方向，

所述成膜装置用基板传送托盘具备：

托盘主体，在所述第1方向上对置的一对边平行，并且在所述第2方向上对置的一对边平行；及

基板支承部件，能够维持与所述边平行的状态并能够向所述托盘主体的中央侧移动，且能够与所述基板的端面抵接，

所述基板支承部件被安装于每个所述边。

2.根据权利要求1所述的成膜装置用基板传送托盘，其中，

所述成膜装置用基板传送托盘具备连杆机构，其被连结于多个所述基板支承部件，使该基板支承部件相对于所述托盘主体的所述边平行地移动。

3.根据权利要求2所述的成膜装置用基板传送托盘，其中，

所述连杆机构具备连杆部件，该连杆部件能够绕沿所述板厚方向延伸的轴摆动，且在前端部连结有所述基板支承部件，

在连结有与所述基板的下端面抵接的所述基板支承部件的所述连杆部件中，能够使所述连杆部件在该连杆部件的前端部配置于最靠所述托盘主体的中央侧的上止点停止，

在连结有与所述基板的上端面抵接的所述基板支承部件的所述连杆部件中，使所述基板支承部件与所述基板的所述上端面抵接，以便使该连杆部件在比所述上止点更靠近前的位置停止，

在连结有与所述基板的侧端面抵接的所述基板支承部件的所述连杆部件中，使所述基板支承部件与所述基板的所述侧端面抵接，以便使该连杆部件在比所述上止点更靠近前的位置停止。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的成膜装置用基板传送托盘，其中，

所述托盘主体具备：

基板支承框，具有所述边；

外框，配置于所述基板支承框的外侧；及

弹性体，配置于所述基板支承框与所述外框之间，且将所述基板支承框支承于所述外框。

5.根据权利要求4所述的成膜装置用基板传送托盘，

该成膜装置用基板传送托盘具备多个所述弹性体，

配置于所述基板支承框的底面侧的所述边上的所述弹性体的刚性比配置于其他的所述边上的所述弹性体的刚性高。

6.根据权利要求1所述的成膜装置用基板传送托盘，

该成膜装置用基板传送托盘具备把持所述基板的周缘的把持部，

所述把持部具有：

第1支承部，能够与所述基板的在所述板厚方向上对置的其中一个面抵接；及

第2支承部，能够与所述基板的在所述板厚方向上对置的另一个面抵接，

所述第2支承部能够摆动地支承于所述托盘主体上。

7.根据权利要求6所述的成膜装置用基板传送托盘，其中，

在所述第1支承部及所述第2支承部的至少一个上设置有磁铁，

所述第2支承部通过由所述磁铁产生的磁力靠近所述第1支承部，从而所述把持部把持所述基板的周缘。

8.根据权利要求4所述的成膜装置用基板传送托盘，其中，

该成膜装置用基板传送托盘上设置有一对屏蔽板，该一对屏蔽板从所述板厚方向的两侧将形成于所述基板支承框与所述外框之间的间隙覆盖。

9.根据权利要求8所述的成膜装置用基板传送托盘，其中，

在所述基板支承框上设置有能够在所述一对屏蔽板之间移动的旋转辊。

10.一种外部开闭驱动装置，其能够与权利要求1～9中任一项所述的成膜装置用基板传送托盘结合，且能够驱动所述成膜装置用基板传送托盘的基板支承部件来对未保持所述基板的打开状态及保持所述基板的关闭状态进行切换。