[发明专利]超声波换能器元件包及其生产方法

说明书

本发明提供一种超声波换能器元件包及其生产方法。该超声波换能器元件包具有多个基板。基板具有在第一方向上排列的多个开口。多个基板在第二方向上隔开间隔地被支撑体支撑。第二方向与第一方向交叉。在各个开口处设置超声波换能器元件。而且，优选开口例如排列在基板的长边方向上。

技术领域

本发明涉及超声波换能器元件包、超声波换能器元件芯片、探测器、探头、电子设备、超声波诊断装置以及超声波换能器元件包的生产方法。

背景技术

例如如专利文献1所述，超声波换能器元件芯片具有一张基板。在基板上形成一对开口。在各个开口处设置超声波换能器元件。超声波换能器元件具有振动膜。振动膜从基板的表面挡住开口。各个超声波换能器元件根据振动膜的振动生成超声波。

在先技术文献

专利文献1：日本专利特开2011-82624号公报

专利文献2：日本专利特开昭63-128899号公报

在薄膜式的超声波换能器元件中，在产生振动时，对应配置在基板上的各个振动膜而形成压电体。如专利文献2所述的大容量(bulk)式的压电元件那样，超声波换能器元件无需从基板上切割出各个单体片。而另一方面，为了进行超声波束的扫描方向的聚焦，则要求在扫描方向扩大超声波换能器元件的间隔。可以根据这样的间隔调整超声波束的焦点的波束宽度。如果这样地在超声波扫描方向上扩大换能器元件的间隔，则会在基板的开口之间形成不用于收发超声波的不必要的基板区域。

发明内容

根据本发明的至少一个方式，可以削减与不必要的基板区域对应的基板材料，又可以扩大超声波换能器元件列的间隔，进行超声波束的聚焦。

(1)本发明的一个方式是一种超声波换能器元件包，具备：多个基板，所述基板具有在第一方向排列的多个开口；支撑体，支撑在与所述第一方向交叉的第二方向上隔开间隔的所述多个基板；以及设置在各个所述开口处的超声波换能器元件。

由于具有间隔地配置基板，因此可以从基板间的空间节省出基板材料。可以既减少基板材料，又扩大相邻的超声波换能器元件的间隔。如果像这样扩大超声波换能器元件的间隔，就可以进行超声波束的聚焦。

(2)从上述支撑体的厚度方向俯视观察时，上述第一方向的开口间的间隔距离也可以小于上述第二方向的基板间的间隔距离。这样可以充分扩大超声波换能器元件的间隔。

(3)超声波换能器元件包可以具备：一根第一导电体，在从上述基板的厚度方向俯视观察时，所述第一导电体横贯上述多个开口、且形成上述超声波换能器元件的第一电极，第二导电体，从所述基板的厚度方向俯视观察时，所述第二导电体对应各个所述开口，横贯所述开口单独形成所述超声波换能器元件的第二电极。在多个超声波换能器元件上通用地连接第一导电体。可以简化从第一电极引出的电线。

(4)可以用绝缘材料填充在上述基板之间。利用绝缘体材料的作用可以容易保持基板的间隔。

(5)上述支撑体可以具备：具有配置上述基板的表面的板状部；从所述板状部的所述表面立起，沿着所述表面形成的环绕围绕所述基板和所述超声波换能器元件的凹部的围壁。此时，在上述凹部中填充声匹配层，上述声匹配层可以覆盖上述超声波换能器元件。在生产超声波换能器元件包时，流体的声匹配层材料可以流入围壁的内侧。这样容易形成声匹配层。这样的生产简单化有助于降低制造成本。

(6)超声波换能器元件包可以具备粘接层，所述粘接层被夹在上述支撑体和上述基板之间，将上述基板粘接在上述支撑体上，且具有低于上述支撑体和上述基板的刚性。基板的振动被吸收层吸收。向着支撑体传输的振动被减轻。因此，串扰减少，S/N比提高。