[发明专利]多片双面薄膜快速沉积装置

权利要求书

1.多片双面薄膜快速沉积装置，包括基片台[1]、传动机构[6]、基片台[1]和传动机构[6]连接，其特征在于，还包括两个靶材盒[7]，所述基片台[1]设置有至少两个通孔[2]，通孔[2]的两端设置有点式限位机构[4]，基片台[1]设置于第一加热片[15]和第二加热片[16]之间的加热腔中，第一加热片[15]和第二加热片[16]设置有作为沉积区的开口，开口位置与基片台[1]上的通孔[2]位置适配。

2.如权利要求1所述的多片双面薄膜快速沉积装置，其特征在于，第一加热片[15]的开口和第二加热片[16]的开口都与同一个通孔的位置适配，两个靶材盒相对设置于加热片的开口处。

3.如权利要求1所述的多片双面薄膜快速沉积装置，其特征在于，所述靶材盒设有长方体形的槽，槽的内壁设置有陶瓷靶材，靶材盒还设置有包括水冷装置。

4.如权利要求1所述的多片双面薄膜快速沉积装置，其特征在于，所述基片台[1]、第一加热片[15]和第二加热片[16]处于平行的三个平面。

5.如权利要求1所述的多片双面薄膜快速沉积装置，其特征在于，所述点式限位机构由三个互成120度夹角分布于通孔周边的限位点构成。