[发明专利]一种耐高温和耐UV的LED防潮薄膜及其制备方法无效

专利信息
申请号: 201310219851.0 申请日: 2013-06-05
公开(公告)号: CN103255372A 公开(公告)日: 2013-08-21
发明(设计)人: 徐志淮 申请(专利权)人: 昆山彰盛奈米科技有限公司
主分类号: C23C14/12 分类号: C23C14/12;C23C14/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215331 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 耐高温 uv led 防潮 薄膜 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种耐高温和耐UV的LED防潮薄膜,其特征在于,所述LED防潮薄膜的分子结构式如下:

2.一种如权利要求1所述的耐高温和耐UV的LED防潮薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将原料5,6,11,12,13,14,15,16-八氟三环[8.2.2.24,7]十六碳-4,6,10,12,13,15-六烯倒入料舟,放入沉积系统装置的蒸发室(1)内;

(2)关闭蒸发室(1),盖上沉积室(4)的盖子,将沉积室(4)内抽真空至2~40mtorr;

(3)将裂解管(2)加热到600℃~750℃范围,后裂解控制在200℃~450℃范围,同时打开沉积室内工装架(5)的转动电机,转速控制在0.2~3转/min;

(4)将蒸发室(1)稳步升温,加热到70~200℃范围,此时,原料在蒸发室(1)内蒸发为气体进入裂解室(2),通过控制升温速度来控制原料的升华速度,保持腔室内真空压力为5~40mtorr;

(5)原料的环二体结构在裂解管(2)内发生裂解反应,形成三种单体,反应式1如下:

反应式1:

(6)单体进入沉积室(4),并在工装架(5)的沉积基底或需镀膜物(6)表面上沉积成膜,控制沉积室(4)内的温度在-5℃~30℃,保证单体可有效的吸附在沉积基底或需镀膜物(6)表面,并相互聚合,形成连续完整的长分子链结构,制得八氟代聚对二甲苯,反应式2和反应式3如下:

反应式2:

反应式3:

(7)当继续升高蒸发室(1)内的温度后,沉积室(4)的真空度出现下降时,表明原料已经蒸发完,可结束成膜,此时将蒸发室(1)温度降到55℃以下,裂解室(2)温度降到600℃以下,然后打开放气阀,开启沉积室(4),取出薄膜。

3.根据权利要求2所述的一种耐高温和耐UV的LED防潮薄膜的制备方法,其特征在于,所述裂解管(2)内加热的温度为650℃~750℃。

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