[发明专利]多线切割机工件安装台夹紧装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于夹紧工件的工装，特别是涉及一种多线切割机工件安装台夹紧装置。

背景技术

在半导体设备制造行业中，高效率，产能大的多线切割机得到了广泛的应用，工作台系统是切割机中的关键部分，它既要实现平稳地进给驱动，又要保证待加工件放置时安全牢靠，从而保证工件加工工艺的顺利完成。

现有的多线切割机工件夹紧方法主要采用两种。第一种是将粘有工件的楔形安装台直接放置在安装槽内，用螺钉从夹紧工作台安装槽的一侧对工件夹紧后，进行切削加工。采用这种方法，螺钉长久重复地进行拆装，螺纹孔易磨损，螺钉易松脱，影响产品的表面加工质量。第二种方法是将粘有工件的楔形安装台与夹紧工作台上的楔形槽配合安装后，采用凸轮连杆机构从同一侧对楔形壁夹紧，利用凸轮的高点顶住与楔面接触的光杆。这种方法相对来说可靠性高，但操作起来往往受力不均，又不能在线检测和在线控制，仍然影响产品的表面加工质量。

发明内容

本发明的目的是给出一种结构简单、使用方便安全、可提高工件上、下料效率，又可自动控制，粘接在工作台上的工件既稳定可靠，又加工精度高的多线切割机工件安装台夹紧装置。

本发明的目的是能够实现的。本发明的多线切割机工件安装台夹紧装置包括粘接有工件的工件安装台以及工件安装台上设置的两个燕尾形的榫头，还包含有一个长方体状的晶托夹紧工作台，晶托夹紧工作台的下面宽度方向两侧分别设有长条状的一个左下凹槽和一个右下凹槽，左下凹槽左侧边缘的凸起部分上固接有一个晶托左导向条，右下凹槽右侧边缘的凸起部分上固接有一个晶托右导向条，左下凹槽和右下凹槽中间共同的凸起部分上固接有一个晶托中间导向条，左下凹槽、晶托左导向条和晶托中间导向条共同形成左侧燕尾槽，右下凹槽、晶托右导向条和晶托中间导向条共同形成右侧燕尾槽，左、右两个燕尾槽通过工件安装台上的两个燕尾形榫头插拔连接工件安装台，工件安装台1上的两个榫头在左、右两个燕尾槽中具有一个往返的水平直线抽拉滑动轨迹，本发明的多线切割机工件安装台夹紧装置其特征在于：所述工件安装台的每个榫头上各设有一个挂接通孔长槽，所述晶托夹紧工作台上方呈具有四个周边的‘凹’型，所述‘凹’型的晶托夹紧工作台的凹心底部中间部分上设有一条凸台，凸台上固接一个油路分配器，所述油路分配器内部设一条内腔油路，外部设若干进出油孔，所述晶托夹紧工作台底部油路分配器的两侧各自均布设有三个安装基座，六个安装基座上各安装一个液压油缸，所述每个液压油缸均通过一根输油管与所述油路分配器的进出油孔连接，所述液压油缸上设有晶托压紧杆，所述每个晶托压紧杆的下端均通过晶托夹紧工作台底部设置的防尘套处在所述左、右两个燕尾槽中，所述晶托压紧杆的下端头安装有压紧拼帽，所述晶托压紧杆上的压紧拼帽均插接在所述工件安装台两个榫头的挂接通孔长槽中，所述油路分配器长度方向左端的上面设有一个液压油进出座，所述液压油进出座中心的通油孔通过所述油路分配器4的进出油孔与油路分配器4的内腔油路连通，所述晶托夹紧工作台的四周凸缘上端固接盖板，所述盖板上固接有一个液压油的进油封口挡块15，所述盖板上的油孔经盖板和液压油进出座之间的密封垫圈与所述液压油进出座的通油孔联通。

本发明多线切割机工件安装台夹紧装置，其中所述的晶托压紧杆在液压油缸上具有一个上下的往返直线运动轨迹。

本发明多线切割机工件安装台夹紧装置，其中所述晶托压紧杆上的压紧拼帽在所述工件安装台的两个榫头的挂接通孔长槽中具有一个往返的水平直线抽拉滑动轨迹，所述工件安装台两个榫头在左、右两个燕尾槽中的运动轨迹与压紧拼帽在两个榫头中的运动轨迹同时同向随动。

本发明多线切割机工件安装台夹紧装置与现有技术不同之处在于本发明多线切割机工件安装台夹紧装置是针对多线切割机中工件安全夹紧的专用装置。它通过液压油缸驱动晶托压紧杆，由晶托压紧杆通过工件安装台的两个榫头锁紧粘接有工件的工件安装台，使工件固定牢靠稳定，加工精度高。本发明多线切割机工件安装台夹紧装置结构简单，易于自动控制，不需借助任何随机工具，即可手工完成工件上、下料。工件加工过程安全可靠，即可缩短整个加工工艺时间，提高加工效率，又可避免工件的损伤，保证工件的表面质量。

下面结合附图对本发明的多线切割机工件安装台夹紧装置作进一步说明。

附图说明

图1为本发明多线切割机工件安装台夹紧装置的结构主视示意图。

图2为本发明多线切割机工件安装台夹紧装置的结构俯视示意图。

图3为本发明多线切割机工件安装台夹紧装置的结构右视示意图。

图4为图1主视示意图的A-A剖面示意图。