[发明专利]一种键合加热装置及加热方法

权利要求书

1.一种键合加热装置，包括设置于键合设备轨道下方的加热块，其特征在于：还包括安装于所述键合设备轨道的上方的加热器及气源，所述气源经输送管路与所述加热器进气口连接，气体经所述输送管路进入所述加热器，再经所述加热器吹出至产品表面上。

2.根据权利要求1所述的键合加热装置，其特征在于：位于所述加热器的下方、产品的上方设有扩散器，所述扩散器设置有若干个气孔，且覆盖产品键合区域。

3.根据权利要求1所述的键合加热装置，其特征在于：还包括温控器，该温控器与所述加热器控制端连接。

4.根据权利要求3所述的键合加热装置，其特征在于：所述加热器内部设有电热丝，所述温控器包括热电偶及控制芯片，所述热电偶信号输出端与所述控制芯片输入端连接，所述控制芯片的输出端与所述加热器控制端连接。

5.根据权利要求1所述的键合加热装置，其特征在于：所述气源由空气压缩机构成。

6.一种键合加热方法，包括位于键合设备轨道下方的加热块，其特征在于：还包括位于所述键合设备轨道上方的加热器，由气源产生的气体通过加热器加热后，再吹向产品表面，利用热对流原理为产品加热，获得键合温度。

7.根据权利要求6所述的键合加热方法，其特征在于：所述加热器下方设置扩散器，将加热后的热空气经扩散器上均布的气孔均匀的吹向产品表面上。

8.根据权利要求6所述的键合加热方法，其特征在于：还包括温控器，控制所述加热器的加热温度，使加热后的气体温度达到180℃～250℃。

9.根据权利要求8所述的键合加热方法，其特征在于：所述加热器内部设有电热丝，所述温控器包括热电偶及控制芯片，通过热电偶测得电热丝加热后的气体温度，转换为电信号后传送至控制芯片，由控制芯片根据设定的额定温度调节电热丝的加热温度。

10.根据权利要求6所述的键合加热方法，其特征在于：所述气源由空气压缩机产生，获得压缩空气输入到加热器内进行加热。