[发明专利]一种真空镀膜机行星式工件架

说明书

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，特别涉及一种用于卧式多靶真空溅射或离子镀膜机中的行星式工件架。

背景技术

电镀在工业中应用已久，但由于在电镀过程中有三废排放对环境污染严重，需大量投资治理又难根治，近些年来国内外进行了广泛的研究，部分采用离子镀代替电镀技术，特别是立式多靶真空溅射或离子镀膜机得到了较快的发展，主要以挂镀为主，其缺点是比较适合特定工件的镀膜，与电镀比被镀件的适应性较差，很难实现工件滚镀的效果，所以卧式多靶真空溅射或离子镀膜机目前在加速发展中，主要用于滚镀小形工件，如螺钉、螺母、多边形薄片、圆环、圆片、各种多边形块件和易碎工件如磁性材料各种形状的多边形块件等，卧式多靶真空溅射或离子镀膜机的滚镀技术，目前大多处于小批试产阶段，相对于产业化应用还有很多技术难题需要攻克，要提高卧式多靶真空溅射或离子镀膜机的生产效率，在镀膜机内设置的弧靶和溅射靶要尽可能的多，使镀膜机单位时间内激发出来的镀层离子尽可能多，并有效地溅射到被镀工件表面，要求镀膜机内的工件架保证所有工件能实现滚镀效果，并且施镀均匀，工件架的结构要避开各种弧靶和溅射靶的制约，镀膜机与工件架的运动要有效传递，转笼速度能随工艺要求改变方便，一次装料工件量要大，工件上下料要快捷，所以卧式多靶真空溅射或离子镀膜机产业化应用的工件架有待深入研究和开发。

发明内容

本发明的目的是针对卧式多靶真空溅射或离子镀膜机产业化应用要求而提供一种真空镀膜机行星式工件架，该工件架整体进出镀膜机方便，实现工件上下料快捷，与镀膜机的运动传递可靠，能适应卧式多靶真空溅射或离子镀膜机产业化应用的要求。

本发明为实现上述目的而采用的技术方案为：

一种真空镀膜机行星式工件架，其特征在于：包括动力输入机构、工件架外支架、转笼行星架、转笼驱动部件、容纳工件的转笼、传动链轮和动力传递链条，转笼行星架一端由固定在工件架外支架上的旋转体支撑，转笼行星架另一端旋转中心由固定在工件架外支架上的旋转轴承支撑，转笼行星架至少安装三组以上的转笼驱动部件，每只转笼驱动部件装有转笼链轮，动力传递链条与多个转笼驱动部件的转笼链轮啮合的同时与固定在工件架外支架上的链轮啮合，所述动力输入机构驱动转笼行星架转动。

上述动力输入机构通过齿轮啮合带动转笼行星架进行公转，使结构简便易行。

上述传动链轮有一个以上，每个链轮同轴排列且链轮的半径不同，组成调速链轮组。

上述调速链轮组轴向可以移动，动力传递链条与调速链轮组中的链轮啮合可以切换。由于设置动力传递链条与调速链轮组中的链轮啮合，通过改变动力传递链条与调速链轮组中的链轮啮合方式，可实现转笼行星架公转与转笼自转的转速比的改变和转笼的自转方向的改变。当转笼自转速度为零时，转笼行星架公转一转，此时转笼以工件架外支架为参照系也相当于一转，当转笼的转向与转笼行星架公转方向一致时，转笼以工件架外支架为参照系的转速等于转笼行星架公转的转速加上转笼自转的转速，这个转速称为转笼的绝对转速，转笼的绝对转速在镀膜机施镀工艺中主要用来控制转笼内被镀工件的翻滚频次，转笼行星架公转的速度在镀膜机施镀工艺中，主要用来控制各转笼相对于镀膜机炉体内壁的弧靶和中心附近溅射靶位置改变的频次，实现各转笼施镀条件等同化的目的，结合转笼自转转速的配合实现被镀工件施镀条件等同化的目标，保证所有工件镀层均匀。

上述动力传递链条的同一侧面与多个转笼驱动部件的链轮啮合的同时与固定在工件架外支架上的链轮啮合，使转笼行星架公转方向与转笼自转方向相反。还可以是：上述动力传递链条的同一侧面与多个转笼驱动部件的链轮啮合的同时，动力传递链条的另一侧面与固定在工件架外支架上的链轮啮合，使转笼行星架公转方向与转笼自转方向相同。因此能实现转笼自转方向与转笼行星架公转的方向相反，可以很方便地实现转笼的绝对转速从零至工艺要求的转速。当转笼绝对转速要求小于转笼行星架公转时，调整动力传递链条与调速链轮组中的链轮啮合方式，使转笼自转方向与转笼行星架公转的方向相反。当转笼绝对转速要求大于转笼行星架公转时，调整动力传递链条与调速链轮组中的链轮啮合方式，使转笼自转方向与转笼行星架公转的方向相同。

上述链轮至少有一个链条张紧器，随时张紧动力传递链条，保证动力的顺利传递。

上述转笼行星架一端外径的表面设一屏蔽挡板环包。上述转笼行星架内齿轮表面设一屏蔽挡板环包，设置一屏蔽挡板环包转笼行星架的所有链轮、动力传递链条、链条张紧器和调速链轮组，使这些部件免遭镀层的污染。