[发明专利]一种高效紧凑的马赫-曾德尔光开关结构有效
| 申请号： | 201310173317.0 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103293713A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 刘克;牟思璇;黄晖 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 魏聿珠 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 紧凑 马赫 曾德尔光 开关 结构 | ||
1.一种高效紧凑的马赫-曾德尔光开关结构，其特征在于：其包括输入波导I（1）和输入波导II（2），互相垂直交汇成十字型结构，在交汇处刻蚀分光微纳沟槽（3），所述的十字型结构中相邻的波导的两端作为光开关的输入端I（1a）和输入端II（2a），十字型结构的另外两端作为输出端分别与L型参考臂（5）和L型相移臂（6）的一端相连；所述的L型参考臂（5）和L型相移臂（6）分别构成马赫-曾德尔干涉结构中所需的一条光路；输出波导I（9）和输出波导II（10），互相垂直交汇成十字型结构，在所述的交汇处刻蚀合光微纳沟槽（8），所述的十字型结构中相邻的波导的两端作为光开关的输出端I（9b）和输出端II（10b），另外两端作为输入端分别与L型参考臂（5）和L型相移臂（6）的另一端相连。
2.根据权利要求1所述的一种高效紧凑的马赫-曾德尔光开关结构，其特征在于：分光微纳沟槽（3）和合光微纳沟槽（8）中填充沟槽填充介质材料（4）；所述的分光微纳沟槽（3）与输入波导I（1）和输入波导II（2）的角度大于输入波导I（1）和输入波导II（2）所用的波导材料和分光微纳沟槽（3）中填充的沟槽填充介质材料（4）所构成的介质界面的全反射角度；所述的合光微纳沟槽（8）与输出波导I（9）和输出波导II（10）的角度大于输出波导I（9）和输出波导II（10）所用的波导材料和合光微纳沟槽（8）中填充的沟槽填充介质材料（4）所构成的介质界面的全反射角度。
3.根据权利要求1所述的一种高效紧凑的马赫-曾德尔光开关结构，其特征在于：所述的L型参考臂（5）和L型相移臂（6）分别在拐角位置刻蚀与光波传播方向成45°角的切面构成全反射镜（7）。
4.根据权利要求1所述的一种高效紧凑的马赫-曾德尔光开关结构，其特征在于：所述的光路的输入端为输入端I（1a）和输入端II（2a）两条或者仅仅为输入端I（1a）和输入端II（2a）中其中的一条，分别构成2×2和1×2光开关结构。
5.根据权利要求1、2、3、4任一权利要求所述的一种高效紧凑的马赫-曾德尔光开关结构，其特征在于：其制作在硅、绝缘体上硅（Silicon on insulator，SOI）、GeSi/Si、GaAs、GaAs/AlGaAs以及InP/InGaAsP半导体衬底材料的一种基底材料上。
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