[发明专利]叠层衍射光学元件及其制造方法

权利要求书

1.一种叠层衍射光学元件，包括：

基板；和

树脂层，其设置在基板上，并且包含光学有效部和与光学有效部相邻的光学有效外部，

其中，树脂层中的光学有效外部具有使得层厚在向基板的外周延伸时减小的连续形状，并且，

其中，连接所述连续形状的两个端部的直线和基板的表面的在与更接近基板的该表面的端部相对的点处的切线之间形成的角度处于20～60度的范围内。

2.根据权利要求1的叠层衍射光学元件，其中，

树脂层中的光学有效外部的外表面具有倾斜面或弯曲面的形状。

3.一种叠层衍射光学元件，包括：

基板；和

树脂层，其设置在基板上，并且包含光学有效部和与光学有效部相邻的光学有效外部，

其中，树脂层中的光学有效外部至少包含使得层厚在向基板的外周延伸时减小的连续的第一形状和使得层厚在向基板的外周延伸时增大的与第一形状相邻的第二形状，并且，

其中，连接使得层厚减小的连续的第一形状的两个端部的直线和基板的表面的在与更接近基板的该表面的端部相对的点处的切线之间形成的角度处于20～60度的范围内。

4.根据权利要求3的叠层衍射光学元件，其中，

树脂层中的光学有效外部包含重复的多对的使得层厚在向基板的外周延伸时减小的连续的第一形状和使得层厚在向基板的外周延伸时增大的与第一形状相邻的第二形状，并且

其中，所述多对的数量处于2～10的范围内。

5.根据权利要求1～4中的任一项的叠层衍射光学元件，其中，树脂层包含掺杂有锡的铟氧化物颗粒。

6.根据权利要求1～5中的任一项的叠层衍射光学元件，其中，树脂层中的光学有效部的厚度不均匀性小于光学有效部的平均厚度的10%。

7.一种叠层衍射光学元件的制造方法，包括以下的步骤：

在基板与模具之间供给树脂并使树脂固化；和

分离模具以在基板上形成包含光学有效部和与光学有效部相邻的光学有效外部的树脂层，

其中，模具的被配置为形成光学有效外部的部分具有使得模具厚度在向外周延伸时增大的连续形状，并且，

其中，在使树脂固化的步骤中，连接模具的所述连续形状的两个端部的直线和基板的表面的在与更接近基板的该表面的端部相对的点处的切线之间形成的角度处于20～60度的范围内。

8.根据权利要求7的叠层衍射光学元件的制造方法，其中，模具的被配置为形成光学有效外部的部分的外表面与基板相对并具有倾斜面或弯曲面的形状。

9.一种叠层衍射光学元件的制造方法，包括以下的步骤：

在基板与模具之间供给树脂并使树脂固化；和

分离模具以在基板上形成包含光学有效部和与光学有效部相邻的光学有效外部的树脂层，

其中，模具的被配置为形成光学有效外部的部分至少具有使得模具厚度在向外周延伸时增大的连续的第一形状和使得模具厚度在向外周延伸时减小的与连续的第一形状相邻的第二形状，并且，

其中，在使树脂固化的步骤中，在连接使得模具厚度增大的模具的所述连续的第一形状的两个端部的直线和基板的切线之间形成的角度处于20～60度的范围内。

10.根据权利要求9的叠层衍射光学元件的制造方法，其中，

模具的被配置为形成光学有效外部的部分具有重复的多对的使得模具厚度在向外周延伸时增大的连续的第一形状和使得模具厚度在向外周延伸时减小的与第一形状相邻的第二形状，并且，

其中，所述多对的数量处于2～10的范围内。