[发明专利]包含氮化物材料的近场换能器

说明书

优先权要求

本申请要求2012年4月24日提交的案号为430.17123000的题为“NEAR FIELD TRANSUCERS(NFTs)INCLUDING NITRIDES(包括氮化物的近场换能器(NFT))”的美国临时申请No.61/637,696的优先权，其公开内容通过援引包含于此。

背景

在热辅助的磁记录中，信息位在升高的温度下被记录在数据存储介质上，并且数据位尺寸可由存储介质中被加热面积的尺寸或者存储介质中受磁场影响的面积的尺寸来决定。在一种方法中，光束在存储介质上汇聚成小光斑以加热该介质的一部分并减小被加热部分的磁矫顽力。然后数据被写到矫顽力减小的区域。

用于热辅助磁记录的记录头的一个例子包括能将光聚集在比衍射极限更小的光斑尺寸的近场换能器(NFT)。NFT被设计成在所设计的光波长下达到局部表面等离子体（plasmon）谐振。在谐振时，由于金属中的电子的集体振荡，在NFT的周围出现高电场。该场的一部分将隧穿入存储介质并被吸收，这局部地提高了该介质的温度以供记录。

NFT的温度在等离子激元（plasmonic）谐振下显著升高。另外，一部分NFT可能暴露在记录头的空气承载表面下，并因此受到机械磨损。NFT性能在HAMR操作期间很大程度地受热应力和机械应力的影响。由于金(Au)的优越的光学性质，当前使用金(Au)作为原始NFT材料。然而，金具有相对低的机械强度并且金制的NFT可能在升高的温度下经历重熔，这导致NFT形状的圆形化。形状的变形可降低耦合效率并减少被传递至存储介质的光能的量。因此，仍然需要由除金以外的其它材料制成的NFT。

发明内容

本文公开一种包括近场换能器的装置，该近场换能器包括导电的氮化物。

另外披露的是包括光源、波导和近场换能器的装置，该近场换能器包括导电的氮化物，其中光源、波导和近场换能器被配置成将光从光源传至波导并最终至近场换能器。

另外披露一种盘驱动器，该盘驱动器包括：具有弯曲部的至少一个致动器臂；至少一个头，其中每个弯曲部在其远端处具有头并且每个头包括：光源；近场换能器，该近场换能器包括导电的氮化物；磁读取器；以及磁写入器，其中光源和近场换能器被配置成将光从光源传送至近场换能器以帮助磁写入器进行写入。

本公开的上述概述并不旨在描述本公开的各公开实施例或每种实现。下面的描述更具体地例示出示例性实施例。在本申请中的若干位置处，通过范例列表来提供指导，这些范例可以多种组合来使用。在各例中，引述的列表仅作为代表性组并且不应当被解释成排他性列表。

附图简述

图1是对可包括根据本公开的一个方面构造的记录头的盘驱动器形式的数据存储设备的图示。

图2是根据本发明的一个方面构造的记录头的侧立面图。

图3是近场换能器的示意图。

图4是另一近场换能器的示意图。

图5A示出所公开的NFT的横截面的示意图。

图5B和5C是表现出角部圆角的之前利用的NFT的原子力显微术(AFM)图像和隧穿电子显微镜(TEM)图像。

图6示出另一公开的NFT的横截面图。

图7A和7B是另一公开的近场换能器的横截面的示意图。

图8示出所公开的示例性设备的自顶向下图。

图9示出使用所公开设备的介质记录层中的光学强度。

这些附图不一定按比例示出。附图中所使用的相同数字表示相同组件。然而，应当理解，在给定附图中使用数字表示组件并不旨在限制在另一附图中用相同数字标记该组件。

具体实施方式

在以下描述中，参照构成本说明书一部分的一组附图，其中通过解说示出了若干具体实施例。应当理解，可构想并作出其他实施例而不背离本公开的范围或精神。因此，以下详细描述不具有限制性含义。

除非另有规定，否则在说明书和权利要求书中使用的表示特征大小、量和物理性质的所有数字应当理解为在任何情况下均由术语“大约”修饰。因此，除非相反地指出，否则在上述说明书和所附权利要求中阐述的数值参数是近似值，这些近似值可利用本文中公开的教示根据本领域技术人员所寻求获得的期望性质而变化。

借由端点对数值范围的陈述包括归入该范围内的所有数字（例如，1至5包括1、1.5、2、2.75、3、3.80、4和5）以及该范围内的任何范围。