[发明专利]MEMS麦克风

权利要求书

1.MEMS麦克风，包括外壳以及与所述外壳结合为一体的线路板，所述线路板上设有第一声孔，定义所述线路板与所述外壳相结合的一侧为所述线路板的内侧，所述线路板的内侧对应所述第一声孔的位置设有MEMS芯片，其特征在于：所述MEMS芯片通过支撑件安装在所述线路板上，所述支撑件上设有至少两个第二声孔，所述第二声孔孔径尺寸小于所述第一声孔孔径尺寸；所述支撑件上还设有用于防止各所述第二声孔通过的气流相互干扰的隔离板，所述隔离板与所述MEMS芯片位于所述支撑件的同一侧；所述支撑件与所述线路板之间设有气流缓冲腔。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述MEMS芯片由一个基底和设置在基底上的电容器构成，所述电容器包括一个刚性背极板、一个弹性膜片以及设置在背极板和膜片之间的支撑环，所述膜片端面与所述基底相连，所述背极板端远离所述基底，所述MEMS芯片通过所述基底安装在所述支撑件上。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述隔离板位于所述支撑件的中间位置，各所述第二声孔分布于所述隔离板的两侧。

4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述支撑件为一端开口的盖状结构，所述盖状结构的开口端与所述线路板相结合，所述支撑件和线路板共同围成了所述气流缓冲腔。

5.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述支撑件为平板结构。

6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述支撑件与所述线路板之间设有支撑垫圈，所述支撑件、支撑垫圈和线路板共同围成了所述气流缓冲腔。

7.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述线路板内侧对应所述第一声孔和第二声孔的位置设有凹槽，所述凹槽在所述支撑件与所述线路板之间形成了所述气流缓冲腔。

8.根据权利要求4或7所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述支撑件与所述线路板相结合位置的线路板上设有用于存胶的溢胶槽，所述溢胶槽设置于所述支撑件的外边缘侧。

9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一声孔的孔径为0.25±0.05mm；各所述第二声孔的孔径均为0.01～0.1mm；各所述第二声孔均与所述第一声孔错开设置。

10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述外壳为金属外壳或线路板外壳。