[发明专利]金属掩模安装方法

说明书

技术领域

本发明涉及将在有机EL元件等的制造工序中使用的金属掩模安装于金属掩模框的金属掩模安装方法。

背景技术

以往，公知有如下的金属薄板的框粘贴方法：矩形的金属薄板的两端由多个夹紧件把持并拉伸而处于平坦地伸展的状态，将处于平坦伸展状态的金属薄板固定于框（例如，参照专利文献1）。根据该金属薄板的框粘贴方法，能够以不变形不松弛的状态将金属薄板固定于框。

专利文献1：日本特开2004-311335号公报

发明内容

但是，在该金属薄板的框粘贴方法中，有时金属薄板在固定后收缩，由于收缩时的张力而使框缘挠曲。因此，存在金属薄板中的检查对象区域的位置在固定前与固定后发生偏移的问题。

本发明的目的在于，提供金属掩模的检查对象区域的位置在固定前与固定后难以发生偏移的金属掩模安装方法。

本发明的金属掩模安装方法包含：张力施加工序，使用一对张力装置沿金属掩模的长度方向施加张力；及安装工序，将在上述张力施加工序中被施加了上述张力的上述金属掩模安装于金属掩模框；上述金属掩模安装方法的特征在于，在上述张力施加工序中，使上述一对张力装置从上述金属掩模所受的反力传递至上述金属掩模框。

而且，本发明的金属掩模安装方法的特征在于，上述金属掩模框具有矩形的开口部，在上述张力施加工序中，使上述反力传递至上述金属掩模框的形成上述开口部的一对侧部的外壁部，在上述安装工序中，上述金属掩模安装于上述金属掩模框的上述一对侧部的各侧部。

而且，本发明的金属掩模安装方法的特征在于，在上述安装工序中，上述金属掩模通过焊接安装于上述金属掩模框。

而且，本发明的金属掩模安装方法的特征在于，通过反复进行上述张力施加工序及上述安装工序，将多个上述金属掩模安装于一个上述金属掩模框。

而且，本发明的金属掩模安装方法的特征在于，上述金属掩模从上述金属掩模框的由外力引起的挠曲最大的位置起依次安装于上述金属掩模框。

而且，本发明的金属掩模安装方法的特征在于，上述金属掩模用于半导体元件、印刷基板、液晶显示元件及有机EL元件中的任一个的制造工序中。

根据本发明的金属掩模安装方法，能够进行正确位置的安装。

附图说明

图1是从上面观察在实施方式所涉及的金属掩模安装方法中使用的金属掩模片、金属掩模框及外部张力装置而得到的图。

图2是从侧面观察在实施方式所涉及的金属掩模安装方法中使用的外部张力装置而得到的图。

图3是表示在实施方式所涉及的金属掩模安装方法中将多个金属掩模片安装于金属掩模框的状态的图。

附图标记说明

2…金属掩模片

4…金属掩模框

6…外部张力装置

8…夹持部

10…张力部

12…固定部件

14…板

16…台车部

18…抵接部

具体实施方式

以下，参照附图，关于本发明的实施方式所涉及的金属掩模安装方法，以在有机EL元件的制造工序中进行真空蒸镀之际使用的金属掩模片为例进行说明。图1是从上面观察在实施方式所涉及的金属掩模安装方法中使用的金属掩模片、金属掩模框及外部张力装置而得到的图。

金属掩模片2由一个方向上较长的矩形的金属薄板构成，以该长度方向与金属掩模框4的长度方向正交的方式安装于金属掩模框4。此处，金属掩模框4是用于安装金属掩模片2的金属制框架，在中央具有矩形的开口部。

而且，外部张力装置6是如下的装置：在将金属掩模片2安装于金属掩模框4之际，外部张力装置6用于沿金属掩模片2的长度方向施加张力而使金属掩模片2保持不变形不松弛的平坦伸展的状态。外部张力装置6成对使用，并如图1所示以与金属掩模框4的两侧部彼此相对的方式配置。

图2是从侧面观察在实施方式所涉及的金属掩模安装方法中使用的外部张力装置6而得到的图。如图2所示，外部张力装置6具备：夹持部8，夹持金属掩模片2的端部2a；张力部10，对由夹持部8夹持的金属掩模片2施加箭头A方向的张力；固定部件12，固定张力部10；台车部16，支撑固定部件12，且能够沿箭头B的方向在板14上移动；及抵接部18，使沿箭头B的方向移动的台车部16与金属掩模框4的侧面4a抵接。另外，由于成对使用的两个外部张力装置6的结构是同样的，因此对未在图2中示出的另一外部张力装置6省略说明。