[发明专利]金属掩模安装方法无效
申请号: | 201310097281.2 | 申请日: | 2013-03-25 |
公开(公告)号: | CN103361599A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 河野克巳;寺本亮 | 申请(专利权)人: | 新东超精密有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 金龙河;车文 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 安装 方法 | ||
1.一种金属掩模安装方法,包含:
张力施加工序,使用一对张力装置沿金属掩模的长度方向施加张力;及
安装工序,将在所述张力施加工序中被施加了所述张力的所述金属掩模安装于金属掩模框,
所述金属掩模安装方法的特征在于,
在所述张力施加工序中,使所述一对张力装置从所述金属掩模所受的反力传递至所述金属掩模框。
2.根据权利要求1所述的金属掩模安装方法,其特征在于,
所述金属掩模框具有矩形的开口部,
在所述张力施加工序中,使所述反力传递至所述金属掩模框的形成所述开口部的一对侧部的外壁部,
在所述安装工序中,所述金属掩模安装于所述金属掩模框的所述一对侧部的各侧部。
3.根据权利要求1或2所述的金属掩模安装方法,其特征在于,
在所述安装工序中,所述金属掩模通过焊接安装于所述金属掩模框。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的金属掩模安装方法,其特征在于,
通过反复进行所述张力施加工序及所述安装工序,将多个所述金属掩模安装于一个所述金属掩模框。
5.根据权利要求4所述的金属掩模安装方法,其特征在于,
所述金属掩模从所述金属掩模框的由外力引起的挠曲最大的位置起依次安装于所述金属掩模框。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的金属掩模安装方法,其特征在于,
所述金属掩模用于半导体元件、印刷基板、液晶显示元件及有机EL元件中的任一个的制造工序中。
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