[发明专利]基于MEMS透射光阀的显示装置及其形成方法有效
| 申请号： | 201310095739.0 | 申请日： | 2013-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN104058363A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 毛剑宏;唐德明 | 申请（专利权）人： | 上海丽恒光微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G02B26/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 透射 显示装置 及其 形成 方法 | ||
1.一种基于MEMS透射光阀的显示装置的形成方法，其特征在于，包括下列步骤：
提供包括底层半导体、中间埋层和顶层半导体的多层复合半导体衬底；
在所述顶层半导体中形成导光口；
在所述顶层半导体剩余部分中制备至少一个MOS器件；
在所述MOS器件上形成互连层和层间介质层；
在所述导光口上形成与互连层导电相连的MEMS透射光阀，所述MEMS透射光阀被所述层间介质层包围；
在所述层间介质层上表面形成透明背板，以及
去除所述底层半导体。
2.根据权利要求1所述的基于MEMS透射光阀的显示装置的形成方法，其特征在于，形成导光口的步骤包括：用干法或湿法去除部分顶层半导体，形成导光口预留孔洞；
用透明介电质填埋导光口预留孔洞，形成导光孔。
3.根据权利要求1所述的基于MEM透射光阀的显示装置的形成方法，其特征在于，所述形成透明背板的方法包括键合透明背板和粘结透明背板。
4.根据权利要求1所述的基于MEMS透射光阀的显示装置的形成方法，其特征在于，所述透明背板面向MEMS透射光阀的一侧具有导光板，所述导光板为垂直入光导光板。
5.根据权利要求1所述的基于MEMS透射光阀的显示装置的形成方法，其特征在于，所述透明背板面向MEMS透射光阀的一面具有导光板，所述导光板为侧向入光导光板。
6.根据权利要求5所述的基于MEMS透射光阀的显示装置的形成方法，其特征在于，所述侧向入光导光板为微型反射镜，其与MEMS透射光阀垂直对准。
7.根据权利要求1所述的基于MEMS透射光阀的显示装置的形成方法，其特征在于，所述多层复合半导体衬底为SOI衬底。
8.根据权利要求1所述的基于MEMS透射光阀的显示装置的形成方法，其特征在于，所述形成MEMS透射光阀的步骤包括在所述导光口上形成牺牲层，在牺牲层中形成MEMS透射光阀；
在去除所述底层半导体的步骤之后还包括去除所述牺牲层。
9.一种基于MEM透射光阀的显示装置，其特征在于，包括：
底层半导体、中间埋层和顶层半导体形成的多层复合半导体衬底，在所述顶层半导体中具有导光口；
所述顶层半导体中至少包括一个MOS器件；
位于所述MOS器件上的互连层和透明层间介质层；
位于所述导光口上的与互连层导电相连的MEMS透射光阀，所述MEMS透射光阀位于透明层间介质层构成的空腔内；以及
位于所述空腔顶部的透明层间介质层上表面的透明背板。
10.根据权利要求9所述的基于MEMS透射光阀的显示装置，其特征在于，所述透明背板面向MEMS透射光阀的一面具有导光板，所述导光板为垂直入光导光板。
11.根据权利要求9所述的基于MEMS透射光阀的显示装置，其特征在于，所述透明背板面向MEMS透射光阀的一面具有导光板，所述导光板为侧向入光导光板。
12.根据权利要求9所述的基于MEMS透射光阀的显示装置，其特征在于，所述侧向入光导光板为微型反射镜，其与MEMS透射光阀垂直对准。
13.根据权利要求9所述的基于MEMS透射光阀的显示装置，其特征在于，所述多层复合半导体衬底为SOI衬底。
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