[发明专利]高温复合缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种高温复合缓蚀剂，其特征在于由以下重量百分比的各组分组成：亚磷酸三丁酯34-40%、磷酸酯8-15%、异丙醇5-10%、硫脲5-10%、苯胺1-5%、苯乙酮4-8%、聚硅氧烷0.5-3%，余量为水。

2.根据权利要求1所述的高温复合缓蚀剂，其特征在于各组分的重量百分比优选为：亚磷酸三丁酯36%、磷酸酯10%、异丙醇7%、硫脲6%、苯胺3%、苯乙酮6%、聚硅氧烷2%，水30%。

3.一种制备如权利要求1或2所述的高温复合缓蚀剂的方法，其特征在于包括以下步骤：将亚磷酸三丁酯、磷酸酯加入到反应釜中，搅拌60min，然后依次加入硫脲、苯胺、苯乙酮、异丙醇、水，升温至100℃，最后加入聚硅氧烷，搅拌1-4h，冷却即得到高温复合缓蚀剂。