[发明专利]一种用于化学抛光机的过滤装置

说明书

技术领域

本发明涉及过滤装置领域，尤其涉及一种用于化学抛光机的过滤装置。

背景技术

目前，化学抛光机排液口使用的过滤装置大都为带网孔的平面过滤装置，在化学抛光液和晶圆快速更新换代的趋势下，现有的平面过滤装置在过滤结晶体及过多的外来物时效果较差，排液口被堵塞的周期较短，而一旦排液口被堵塞，需取下排液口过滤装置进行冲刷，将过滤物质冲走后再安装至排液口，这一程序需要化学抛光机停机操作，由此，冲刷周期缩短造成停机次数增加，影响抛光机工作效率。

因此，需要一种新型的用于化学抛光机的过滤装置，能有效地延长排液口被过滤物质堵塞的时间。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于化学抛光机的过滤装置，能有效地延长排液口被过滤物质堵塞的时间。

本发明公开了一种用于化学抛光机的过滤装置，包含过滤器，所述过滤器设置在所述化学抛光机的排液口，过滤器设有多个过滤孔，过滤器呈上宽下窄的形状。过滤装置还包括过滤芯，过滤芯设有多个过滤芯过滤孔，所述过滤芯与过滤器连接，连接处可使用橡胶圈密封，防止抛光废液从密封连接处流入，所述过滤芯过滤孔有不同过滤等级，可使用过滤网的过滤芯，也可使用过滤条的过滤芯。同时，制作过滤器的材料为特氟龙。

本发明还公开了一种使用所述过滤器与过滤芯结合的过滤装置的过滤方法，步骤A：所述化学抛光机的抛光废液从所述过滤芯的侧面由外至里流过过滤芯过滤孔流至所述过滤芯的内部；步骤B：所述抛光废液从所述过滤芯的内部流至所述过滤器；步骤C：所述抛光废液从所述过滤孔过滤后流出。其中步骤A和步骤B间还包括：步骤D：当过滤芯过滤孔被堵塞时，化学抛光机的抛光废液从过滤芯的芯口流至过滤芯的内部；同时，过滤器与过滤芯连接处为密封连接，抛光废液无法从所述连接处流入。

采用上述技术方案后，当单独使用过滤器对抛光废液过滤时，过滤的晶体及外来物会受到重力及抛光废液冲刷力下沉至上宽下窄型过滤器下部尖处，而不会阻塞上宽下窄型过滤器中部及上部的过滤孔，抛光废液仍可通过上宽下窄型过滤器中部及上部的过滤孔过滤排出，延长了过滤孔都被完全堵塞的时间周期，增大了停机维护过滤装置的时间周期，提高了抛光机工作效率。同时上宽下窄型的过滤器由于斜面的设计使冲刷堵塞物时更方便、充分，缩短了维护所需要的时间与工作量。而当使用过滤芯及过滤器同时过滤时，在先使用过滤芯过滤微小的物质，并通过过滤器作过滤保险的作用防止未被过滤芯过滤的体积较大的外来物排出，明显地提高了过滤装置的过滤效果。

附图说明

图1为本发明较佳实施例的结构示意图，其中图中1过滤器，2过滤孔，3过滤器连接处；

图2为本发明较佳实施例使用过滤网的过滤芯侧视图，其中图中4过滤网，5过滤芯连接处；

图3为本发明较佳实施例使用过滤条的过滤芯结构示意图，其中图中6过滤条；

图4为本发明过滤器及过滤芯连接后过滤装置结构示意图，其中图中7橡胶密封圈；

具体实施方式

以下结合附图与具体实施例进一步阐述本发明的优点。

本发明用于化学抛光机的过滤装置包含过滤器，所述过滤器设置在所述化学抛光机的排液口，过滤器设有多个过滤孔，所述过滤器的结构呈上宽下窄的形状。

作为优选，所述过滤器1可设计成漏斗型或半圆形，作为优选，漏斗型过滤器在冲刷清洗时倾斜的内壁不存在清洗盲区，可被液体充分冲刷，而半圆形的过滤器在冲刷时不如漏斗型方便，过滤物质易滞留在内壁上。参阅图1，为本发明过滤器1结构示意图，过滤器1结构呈漏斗型，具体特征为上宽下窄的形状。

在化学抛光机排液口设置所述过滤器1后，抛光废液从排液口流至过滤器1，通过过滤孔2过滤抛光废液中的晶体或外来物，过滤物质中抛光晶体受重力影响由下至上堆积，抛光液进行化学作用后产生的粘膜类物质直接堵塞在过滤孔2。当所有过滤孔2被堵塞过滤器1无法继续工作时，取下过滤器1进行冲刷，将附着在过滤器1上的过滤物质从过滤器1上全部冲刷走，再将过滤器1放置在排液口继续工作。当进行冲刷工作时，需进行化学抛光机停机操作。

作为优选，本发明用于化学抛光机的过滤装置还包含过滤芯，参阅图2，为本发明使用过滤网的过滤芯侧视图。

作为优选，所述过滤芯还可使用过滤条，参阅图3，为本发明使用过滤条的过滤芯6结构示意图，所述过滤芯带有多个过滤条6，所述过滤条6沿过滤芯的母线方向排列。