[发明专利]一种用于化学抛光机的过滤装置无效
| 申请号： | 201310068906.2 | 申请日： | 2013-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN104029128A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈光;王徐承;王雨春 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00;B01D35/02;B01D29/085;B01D29/50;B01D37/00 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 抛光机 过滤 装置 | ||
1.一种用于化学抛光机的过滤装置，包含过滤器，所述过滤器设置在所述化学抛光机的排液口，所述过滤器设有多个过滤孔，其特征在于：所述过滤器呈上宽下窄的形状。
2.如权利要求1所述的用于化学抛光机的过滤装置，其特征在于：所述过滤装置包括过滤芯，与所述过滤器连接，所述过滤芯设有多个过滤芯过滤孔。
3.如权利要求2所述的用于化学抛光机的过滤装置，其特征在于：所述过滤芯与所述过滤器连接处使用橡胶圈密封连接，防止抛光废液从所述连接处流入。
4.如权利要求2或3所述的用于化学抛光机的过滤装置，其特征在于：所述过滤芯为过滤网。
5.如权利要求2或3所述的用于化学抛光机的过滤装置，其特征在于：所述过滤芯为过滤条。
6.如权利要求2所述的用于化学抛光机的过滤装置，其特征在于：制作所述过滤器的材料为特氟龙。
7.一种使用如权利要求2所述的过滤装置的过滤方法，其特征在于：
包括以下步骤：
步骤A：所述化学抛光机的抛光废液从所述过滤芯的侧面由外至里流过过滤芯过滤孔流至所述过滤芯的内部；
步骤B：所述抛光废液从所述过滤芯的内部流至所述过滤器；
步骤C：所述抛光废液从所述过滤孔过滤后流出。
8.如权利要求7所述的过滤方法，其特征在于：所述步骤A和步骤B间还包括：步骤D：当所述过滤芯过滤孔被堵塞时，所述化学抛光机的抛光废液从所述过滤芯的芯口流至所述过滤芯的内部。
9.如权利要求7所述的过滤方法，其特征在于：所述过滤器与所述过滤芯 连接处为密封连接，所述抛光废液无法从所述连接处流入。
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