[发明专利]X射线检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及X射线检查装置，尤其，涉及使用对各种工业产品等被检查物进行X射线照射而得到的X射线透视图像，对被检查物内部有无缺陷等进行非破坏性检查的X射线检查装置。

背景技术

在对各种工业产品的内部有无缺陷等进行非破坏性检查的X射线检查装置中，一般地，具有在X射线产生装置与X射线检测器之间配置有将被检查物进行载置的载置台的结构。通常，载置台能够在包含X射线光轴方向（连接X射线产生装置与X射线检测器的方向、Z方向）的三维方向（XYZ方向）上移动。通过使该载置台在X射线光轴方向（Z方向）上移动而使透视倍率产生变化，通过在与其正交的平面（XY平面）上移动可以使视场中心产生变化。也有代替载置台，使X射线产生装置和X射线检测器与载置台一起移动的装置。

在用于对电路基板（被检查物）上所安装的部件和焊锡球等进行检查的X射线检查装置中，通常，将电路基板上的细节放大透视后进行观察。为此，当前透视的部位是位于电路基板上的何处将变得难以进行判别。因此，已知有以下的技术（中心移动功能）：用较低倍率（宽视场）对被检查物的X射线透视图像进行摄影并存储好，将该X射线透视图像在显示器上显示，通过在该X射线透视图像上指定应该放大透视的位置和大小尺寸（想要的区域），来使载置台自动地移动并将X射线透视图像进行显示（例如，参见专利文献1）。

另外，在用于这种用途的X射线检查装置中，由于采用了用于得到高放大率的X射线透视图像的装置结构，因而无法得到被检查物的整个区域（低倍率）的X射线透视图像，为此，便有了设置用于对载置台上的被检查物的整个区域进行摄影的光学照相机的技术（例如，参见专利文献2）。

图4为示出设有光学照相机的X射线检查装置的结构的模块图。另外，图2为由X射线检查装置所显示的图像的一例。此外，将连接X射线产生装置和X射线检测器的方向作为Z方向，将与Z方向垂直的一个方向作为X方向，将与Z方向和X方向垂直的方向作为Y方向。

X射线检查装置110包括：对被检查物W进行载置的载置台3；使载置台3在XYZ方向上移动的移动机构4；X射线产生装置1；X射线检测器2；用于对被检查物W的整个区域的外观图像进行摄影的光学照相机5；以及对X射线检查装置1整体进行控制的控制系统120。控制系统120由通用的计算机装置构成，将其硬件模块化后进行说明的话，由CPU121、键盘和鼠标等输入装置22、液晶面板等显示器23、和存储器124构成。

另外，如果对CPU121所处理的功能进行模块化来说明的话，其具有从X射线检测器2取得X射线透视图像并在显示器23上进行显示的X射线透视图像取得部21a、从光学照相机5取得外观图像并在显示器23上进行显示的外观图像显示控制部121b以及使移动机构4驱动的移动机构控制部121c。

根据这种X射线检查装置110，如图2所示，显示器23中，在右侧区域显示目前正在透视的X射线透视图像T，且在左侧区域显示外观图像C。

并且，操作者将通过光学照相机5从与X射线的透视方向大致相同方向（-Z方向）对被检查物W进行摄影所得到的外观图像C作为地图那样地来使用，通过在该外观图像C上重叠显示各个时刻的透视位置，或者，用输入装置22在外观图像C上指定应该放大显示的位置，使载置台3自动地移动并使X射线透视图像T进行显示（外观导航功能）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-255286号公报

专利文献2：日本特开2006-343193号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述那样的X射线检查装置110中，当对高度h较高的被检查物W_l进行检查时，外观导航功能有时不能很好地发挥作用。另外，有时无法取得被检查物W_l的整个区域的外观图像C。

用于解决课题的手段