[发明专利]一种泵转子及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种泵转子及其制造方法，特别是涉及一种用于正排气泵的泵转子，像是鼓风机转子或是干式真空泵转子，是以挤出或是射出的方式成形。

背景技术

在半导体代工制造工艺中，时常需要沉积特定材料在半导体晶圆上或从半导体晶圆上移离特定材料，其中，这些制作半导体晶圆所使用的材料与半导体晶圆的电气性质有关。为了沉积或移除这些特定材料，多种气体会被用于冲击半导体晶圆，例如，为了自半导体晶圆上去除污染物，处理气体可用于接触半导体晶圆，与其污染物反应，以达到去除的效果。特别的是，在此处理程序中，半导体晶圆需被置于一低压环境内方可作业，因此，真空处理系统即用于在移除半导体晶圆的制造工艺中产生一低压环境。

所谓的真空处理系统至少需要一个真空室与多个真空泵，作业时，半导体晶圆先被放在真空室内，接着，真空泵抽取真空室的气体达到一预定标准，达到标准后，半导体晶圆即处于一低压环境内，且随后可进行进一步处理。

由上可知，干式真空泵可用于将真空室抽空至一低压，大体上，以下五项变量会影响抽真空的成本：(1)欲抽空的气体量；(2)载入真空室的内部表面积；(3)载入真空室内所需的低压；(4)加载真空室之间管路与干式真空泵内的阻力；及(5)用于在加载真空室内提供低压时所需的时间。

干式真空泵包括转动叶片，借由转动叶片，并挤压流体，以将流体带出真空室；一般而言，转动叶片的形成方式是利用铁铸法制成的，铁铸法所制成的转动叶片强度够，且易于量产，因此，大量被使用；然而，铁铸法所制成的转动叶片，其实心结构造成重量过重，转动惯量大，除了带动转动需要耗费大量的能量之外，转动轴承及其它零配件也较易损坏，且其重量还造成组装的困难度。

为此，前人进行改良，设计出重量较轻的转动叶片，请参考图1，是美国专利号US616945中的一种真空泵，其中，该真空泵包括转动壳体A11，包括相连接的两个转动空间A111，该转动空间A111各放置两个转动叶片A12，该转动叶片A12以钣金弯曲，再经过焊接而形成转子外壳，再与转轴A13连接完成组装；美国专利号US616945所设计的转动叶片虽然重量较轻，但是强度比过去铁铸法所制成的转动叶片还要弱，转动叶片容易在使用中扭曲变形，且制造过程繁复，需要经过弯钣、裁钣、定位、焊接修光、抽真空等等，相当耗费工时，质量也难以控制。

因此，有鉴于上述现有习用的真空泵，皆具有缺点与不足，故，本案的发明人极力设计，终于设计出本发明的一种泵转子及其制造方法。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种泵转子，其重量较轻，因此，在相同尺寸下，本发明的泵转子具有较低的转动惯量，运转所需消耗的功率也比较低，同时，轴承不易损坏，降低组装的困难度。

本发明的次要目的在于提供一种泵转子的制造方法，以挤出或射出的方式成型转子叶片，制作程序简单，且所形成的泵转子具有足够的强度，可降低制造时间，制造质量也较易控制。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种泵转子，用于正排气泵，其包含有：叶片主体；多个支撑肋，与该叶片主体一体成型，其中，该多个支撑肋在该叶片主体内，并分别被多个空间单元隔开；以及转轴，形成于该叶片主体的中央，并与该多个支撑肋连接；其中，该转轴转动时，可带动该叶片主体及该多个支撑肋转动。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的泵转子，其中，该叶片主体及该多个支撑肋可以下列任一种材质制成：金属材料及塑性材料。

前述的泵转子，其中，该叶片主体及该多个支撑肋可以下列任一种方式制成：挤制成型及射出成型。

前述的泵转子，其中，该空间单元可为下列任一种形状：三角形、方形、蜂巢形、椭圆形及圆形或其组合。

前述的泵转子，其中，该空间单元可充填塑性材料。

前述的泵转子，其中，该转轴以下列任一种方式与该多个支撑肋连接：热套配合、螺栓固锁、插销结合以及紧配合。

前述的泵转子，其中该叶片主体11至少可为下列任一种形状：鲁式以及爪式。