[发明专利]金属箔连续镀膜设备有效
申请号: | 201310048243.8 | 申请日: | 2013-02-07 |
公开(公告)号: | CN103074592A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 杨纪忠;郭廷玮;夏建业 | 申请(专利权)人: | 江苏夏博士节能工程股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/35 |
代理公司: | 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 | 代理人: | 夏海初 |
地址: | 213101 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 连续 镀膜 设备 | ||
技术领域
本发明涉及一种金属箔镀膜设备,具体涉及一种以卷装金属箔为镀膜加工对象的金属箔连续镀膜设备,属于金属表面镀膜处理装备技术。
背景技术
本发明所述金属箔是指铜箔或铝箔或其它具有特好导热性能的贵金属箔。
金属箔表面镀膜(包括单面镀膜和双面镀膜)的目的在于多个方面,而本发明的金属箔表面镀膜的目的,主要在于有效提高金属箔接受光热辐射的能力,即降低其反射率提高其吸收率。
平板型太阳能集热器板芯所用的金属箔,一般是在其工作表面具有包括与金属箔表面结合的底膜层、减反射膜层、选择性吸收膜层和表面抗氧化自洁保护膜层在内的膜系结构层的导热性能特好的金属箔(铝箔或铜箔)。
而所述金属箔表面的镀膜加工处理,可以是单片金属箔分片镀膜加工处理,或者是卷装金属箔连续镀膜加工处理。显然,由于后者的生产效率高,加工成本低,而被制造业所乐意采用。
已有技术的卷装金属箔连续镀膜设备,诸如中国专利200810045199.4、200910166892.1、200910167664.6、201110193478.7和201210099029.0等,都有与其相关的技术报道,当然也都可以取得成功。
然而已有技术的各个工作室的室内腔体积较大,以致其抽真空的能耗和工作介质(Ar、N、O等)的耗用量较大,且由于室内腔有多个“死角”存在,以致影响室内腔的工作环境和工作介质的有效利用;与此同时,已有技术之存在于外界大气中的金属箔,通过真空度递增过渡区段后,直接进入离子清洗区段,由于金属箔当时的温度较低(尤其是寒冷季节的金属箔温度更低),而其表层所附着的杂质的活性较差,以致降低了金属箔表面实施离子轰击清洗的效果,影响了所述底膜层与金属箔表面的结合强度,给所述膜系结构层与金属箔的结合造成剥离隐患,而严重影响了制成品的质量和使用寿命;而且由于金属箔与镀膜工作室的温差较大,也会直接影响镀膜的效率和包括镀膜层厚度一致性在内的镀膜质量。
由于已有技术所存在的诸多结构性不足,以致不同程度存在着膜系结构层易于剥落,工艺成本较高,制成品质量不稳定等不足。为此研发一种能够克服已有技术不足的金属箔镀膜设备,便成为业内共同关注的课题。
发明内容
本发明旨在提供一种膜系结构层与金属箔表面结合强度好,工艺成本较低,制成品质量较好的金属箔连续镀膜设备,以克服已有技术的不足。
本发明实现其目的的技术思路:一是在真空度递增过渡区段与离子清洗区段之间,加设电加热区段,通过电加热提高金属箔自身的温度,且保持金属箔始终处在一个适宜镀膜加工处理的温度范围内,以有效提高金属箔表面清洗效果,提高底膜层与金属箔表面的结合强度和镀膜质量;二是将整个设备的所有工作室的室内腔,改进为呈橄榄表面形拱顶室内腔,以有效缩小各个工作室室内腔的体积,有效提高抽真空的效率和节约降低工作介质(N、O、Ar等)的耗用量,且利用室内腔两端弧形面的反射,提高镀膜效率和镀膜质量,以降低工艺成本、提高镀膜品质;三是在思路之二的结构基础上,将各工艺工作室室内腔改进成上下对称布置的双工艺工作室内腔,实施2个卷装金属箔同步镀膜加工处理,以有效提高生产效率,从而实现本发明的目的。
基于以上所述技术构想,本发明实现其目的的技术方案是:
一种金属箔连续镀膜设备,以卷装金属箔为镀膜加工对象,且对金属箔的表面实施连续镀膜处理;该设备包括:具有可编程序控制器的电控器,具有包括放卷架座和布置在放卷架座上的放卷辊组件在内的放卷装置的放卷区段,具有至少2个由相互间保留金属箔运动通道且密封连接的设有抽真空管路的第一真空室构成的真空度递增过渡区段,具有至少1个由设有抽真空管路,电极和工作介质管路的离子清洗室构成的金属箔镀膜面离子清洗区段,具有若干组相互保留金属箔运动通道且密封连接的,且每组至少有1个设有溅射靶基、抽真空管路和工作介质管路的磁控溅射镀膜室构成的连续镀膜区段,具有至少2个由相互保留金属箔运动通道且密封连接的具有抽真空管路的第二真空室构成的真空度递减过渡区段,具有冷却装置的冷却区段,以及具有包括收卷架座,分别布置在收卷架座上的卷筒纸复纸构件和由驱动电机驱动的收卷构件,以及其恒线速度控制器在内的复纸收卷装置的金属箔镀膜面复纸和收卷区段;而所述真空度递增过渡区段、离子清洗区段、连续镀膜区段和真空度递减过渡区段依次相互保留金属箔运动通道且密封连接,从而构成一条连续生产加工线,且所述所有区段各自的工作及其工艺参数,均通过相对应的控制件接受电控器控制;而其:
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