[发明专利]金属箔连续镀膜设备

权利要求书

1.一种金属箔连续镀膜设备，以卷装金属箔（10）为镀膜加工对象，且对金属箔的表面实施连续镀膜处理；该设备包括：具有可编程序控制器的电控器（1），具有包括放卷架座（2-1）和布置在放卷架座（2-1）上的放卷辊组件（2-2）在内的放卷装置的放卷区段（2），具有至少2个由相互间保留金属箔运动通道且密封连接的设有抽真空管路（3-1-1）的第一真空室（3-1）构成的真空度递增过渡区段（3），具有至少1个由设有抽真空管路（4-1-1），电极（2-1-2）和工作介质管路（4-1-3）的离子清洗室（4-1）构成的金属箔镀膜面离子清洗区段（4），具有若干组相互保留金属箔运动通道且密封连接的，且每组至少有1个设有溅射靶基（5-1-1）、抽真空管路（5-1-2）和工作介质管路（5-1-3）的磁控溅射镀膜室（5-1）构成的连续镀膜区段（5），具有至少2个由相互保留金属箔运动通道且密封连接的具有抽真空管路（6-1-1）的第二真空室（6-1）构成的真空度递减过渡区段（6），具有冷却装置（7-1）的冷却区段（7），以及具有包括收卷架座（8-1），分别布置在收卷架座（8-1）上的卷筒纸复纸构件（8-2）和由驱动电机（8-3）驱动的收卷构件（8-4），以及其恒线速度控制器（8-5）在内的复纸收卷装置的金属箔镀膜面复纸和收卷区段（8）；而所述真空度递增过渡区段（3）、离子清洗区段（4）、连续镀膜区段（5）和真空度递减过渡区段（6）依次相互保留金属箔运动通道且密封连接，从而构成一条连续生产加工线，且所述所有区段（2、3、4、5、6、7、8）各自的工作及其工艺参数，均通过相对应的控制件接受电控器（1）控制；

其特征在于：

a、还包括对金属箔实施加热的电加热区段（9）；所述电加热区段（9）由至少1个两侧保留金属箔运动通道且具有电加热装置（9-1-1）和温度传感器（9-1-2）的电加热室（9-1）所构成；所述电加热区段（9）布置在所述真空度递增过渡区段（3）与所述金属箔镀膜面离子清洗区段（4）之间且互相保留金属箔运动通道密封连接；所述电加热室（9-1）的电加热装置（9-1-1）通过温度传感器（9-1-2）接受电控器（1）控制；

b、所述真空度递增过渡区段（3）的各个第一真空室（3-1），电加热区段（9）的各个电加热室（9-1），离子清洗区段（4）的各个离子清洗室（4-1），连续镀膜区段（5）的各个磁控溅射镀膜室（5-1），以及真空度递减过渡区段（6）的各个第二真空室（6-1），五者直面金属箔镀膜面的室内腔，均为两端分别是弧形线而中间由直线过渡连接的呈橄榄表面形第一拱形室内腔（G₁）；

c、所述冷却区段（7）的冷却装置（7-1），是由2只有间距分开相对布置在支架（7-1-1）上的且分别由循环冷却介质致冷的中空冷却滚筒（7-1-2）和用来探测中空冷却滚筒（7-1-2）表面温度的第二温度传感器（7-1-3）所组成；所述2只中空冷却滚筒（7-1-2）的循环冷却介质控制电磁阀，通过第二温度传感器（7-1-3）接受电控器（1）控制；经镀膜加工后的具有膜系结构层的金属箔，由真空度递减过渡区段（6）导出后，通过缠绕2个中空冷却滚筒（7-1-2）的表面而接受冷却；

d、所述金属箔镀膜面复纸和收卷区段（8）的收卷构件（8-4），由其恒线度检测器（8-5）通过电控器（1）控制驱动电机（8-3）而实现匀线速度卷绕收卷，并牵引该设备的金属箔镀膜加工的全过程运动。