[发明专利]等离子体单元以及制造等离子体单元的方法

说明书

技术领域

本发明一般地涉及一种等离子体单元（cell）以及一种制作等离子体单元的方法。

背景技术

等离子体显示面板（PDP）在大的电视显示器中是常见的。等离子体显示器包括包含带电的电离气体的小单元。

等离子体显示器是明亮的（针对模块为1000勒克司或更高），具有宽的色域，并且可以以相当大的大小（斜对地高达150英寸（3.8m））被生产。显示面板本身为约6cm（2.5英寸）厚，从而一般允许器件的（包括电子装置的）总厚度小于10cm（4英寸）。

发明内容

根据本发明的实施例，单元包括半导体材料、被部署（dispose）在半导体材料中的开口、给开口的表面加衬里（line）的介电层、使开口闭合的覆盖层（cap layer）、邻近开口被部署的第一电极以及邻近开口被部署的第二电极。

根据本发明的实施例，面板包括半导体材料以及多个单元，其中每个单元都包括被部署在半导体材料中的开口、给开口的表面加衬里的介电层、密封开口的覆盖层、邻近开口被部署的第一电极以及邻近开口被部署的第二电极。

根据本发明的实施例，用于制造半导体器件的方法包括：在半导体材料中形成开口，利用介电层给开口加衬里、利用覆盖层使开口闭合、邻近开口形成第一电极以及邻近开口形成第二电极。

附图说明

为了更完整地理解本发明以及其优点，现在参照连同附图被采取的下面的描述，在所述附图中：

图1示出了等离子体显示器组成；

图2a示出了单元的实施例的横截面视图；

图2b示出了单元的隔离的实施例；

图2c示出了单元的隔离的另一实施例；

图2d示出了单元的隔离的又一实施例；

图2e示出了单元的实施例的流程图；

图2f示出了单元的实施例的俯视图；

图3a示出了单元的实施例的横截面视图；

图3b示出了单元的实施例的流程图；

图4a示出了单元的实施例的横截面视图；

图4b示出了单元的实施例的流程图；

图5a示出了单元的实施例的横截面视图；

图5b示出了单元的实施例的流程图；并且

图6a至6c示出了单元的操作方法。

具体实施方式

目前优选的实施例的制作和使用在下面被详细讨论。然而，应该意识到的是，本发明提供了可以在各种各样的特定上下文中被具体表现的许多可应用的发明概念。所讨论的特定实施例仅仅是说明制作和使用本发明的特定方式，并且并不限制本发明的范围。

本发明将关于在特定上下文中的实施例被描述，即关于半导体等离子体单元被描述。然而，本发明也可以适用于其它类型的等离子体单元。

面板通常在两个玻璃面板之间的隔间化的空间（compartmentalized space）中具有数百万个微小单元。这些隔间或单元装有惰性气体和极小量水银的混合物。正如在荧光灯中那样，当水银被蒸发并且电压被施加在单元上时，这些单元中的气体形成等离子体。随着电（电子）的流动，当电子移动穿过等离子体时，电子中的一些撞击水银颗粒，从而瞬间增加分子的能量水平，直到过剩能量流出。水银将能量作为紫外（UV）光子发射。

UV光子接着撞击被部署在单元壁的内部上的磷光体。当UV光子撞击磷光体分子时，该UV光子瞬间提高了磷光体分子中的外层轨道电子的能量水平，从而把电子从稳定状态移到不稳定状态。电子接着以比UV光更低的能量水平将过剩能量作为光子发射。较低能量的光子主要在红外范围中，但是约40%在可见光范围内。因而，输入能量部分地作为可见光被发射。

根据所使用的磷光体，不同颜色的可见光可以被发射。等离子体显示器中的每个像素都由包括可见光的原色的三个单元组成。使到单元的信号的电压变化因而允许了不同的被察知到的颜色。

等离子体显示面板是被定位在两个玻璃面板之间的成千上万个小的发光单元的阵列。每个单元都利用诸如氦（He）、氖（Ne）、氙（Xe）、氩（Ar）之类的惰性气体、其它惰性气体或其组合来填充。当单元通过电极被供电时，这些单元是发光的。图1示出了透视的等离子体显示器组成100。

等离子体显示器组成100示出了后玻璃板110和前玻璃板120。两个介电层130和140被部署在前玻璃板120与后玻璃板110之间。各个单独的等离子体单元150被布置在两个介电层130、140之间。例如，三个等离子体单元151-153形成像素160。