[发明专利]一种磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置有效
申请号: | 201310027320.1 | 申请日: | 2013-01-24 |
公开(公告)号: | CN103075988A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 陈守亮;杨定伟;陈华轩;王卫林;张乾峰;刘庆威;顾石成 | 申请(专利权)人: | 苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 |
主分类号: | G01B21/14 | 分类号: | G01B21/14 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 马明渡 |
地址: | 215121 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 罩壳 组件 内径 高度 快速 检测 装置 | ||
1.一种磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置,其特征在于:包括底座(1)及设于该底座(1)上的内径检测部(2)和接触式位移传感器(3);
所述内径检测部(2)下端固定连接在底座(1)上,上端设有内径检测头(4),该内径检测头(4)具有刚性的圆形外缘(5),该圆形外缘(5)的直径等于磁瓦罩壳组件(10)中两个磁瓦(6)内弧面所在圆柱形的直径;
所述接触式位移传感器(3)的感测头(7)当接触到磁瓦罩壳组件(10)上的磁瓦(6)的下缘时能够感测到其在竖直方向的位移,该感测头(7)位于内径检测头(4)的旁侧,并对应于磁瓦罩壳组件(10)中的磁瓦(6);所述感测头(7)在竖直方向上位于内径检测头(4)的圆形外缘(5)的下方,或者,所述感测头(7)与内径检测头(4)的圆形外缘(5)位于同一水平面;
所述磁瓦罩壳组件(10)上设有卡脚(18),在该磁瓦罩壳组件(10)相对于内径检测头(4)在竖直方向运动时进行限位,该卡脚(18)与磁瓦(6)的下缘之间间隔距离。
2.根据权利要求1所述的磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置,其特征在于:还包括一弹性件(8),所述内径检测部(2)的下端经所述弹性件(8)与底座(1)弹性连接,所述弹性件(8)作用于竖直方向。
3.根据权利要求1所述的磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置,其特征在于:所述接触式位移传感器(3)数量为两个,以内径检测头(4)为基准对称设于该内径检测头(4)的两侧。
4.根据权利要求1所述的磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置,其特征在于:还包括位置传感器(9),用以检测磁瓦罩壳组件(10)与内径检测头(4)的相对位置。
5.根据权利要求1所述的磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置,其特征在于:所述内径检测部(2)配套设有若干所述内径检测头(4),这若干内径检测头(4)均与内径检测部(2)可拆卸的连接。
6.根据权利要求1所述的磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置,其特征在于:还包括一传动装置,该传动装置包括由上向下依次设置的接触销(11)、连接销(12)和垫块(13),其中接触销(11)和连接销(12)均经一直线轴承(14)与底座(1)在竖直方向滑动连接,所述接触销(11)上端在竖直方向上位于内径检测头(4)的圆形外缘(5)的下方,或者,所述接触销(11)上端与内径检测头(4)的圆形外缘(5)位于同一水平面;接触销(11)下端与连接销(12)上端接触,连接销(12)下端与垫块(13)上端在竖直方向定位连接,垫块(13)下端与接触式位移传感器(3)的感测头(7)在竖直方向定位连接。
7.根据权利要求6所述的磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置,其特征在于:所述垫块(13)具有一方形本体(15),该本体(15)的上端和下端均开设一卡槽(16),所述连接销(12)下端卡入本体(15)上端的卡槽(16)中,所述接触式位移传感器(3)的感测头(7)卡入本体(15)下端的卡槽(16)中。
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