[发明专利]半导体器件无效
| 申请号: | 201310027193.5 | 申请日: | 2013-01-24 |
| 公开(公告)号: | CN103681821A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
| 发明(设计)人: | 内城竜生 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
| 主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06;H01L29/78 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 张丽 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体器件 | ||
1.一种半导体器件,其特征在于,具备:
第1导电类型的第1半导体层;
第2导电类型的第2半导体层,设置于所述第1半导体层之上;
第3半导体层,设置于所述第2半导体层之上,并且具有第1导电类型的第1半导体区域和第2导电类型的第2半导体区域沿着相对所述第1半导体层与所述第2半导体层的层叠方向垂直的第1方向交替排列的构造;
第4半导体层,设置于所述第3半导体层之上,并且具有第1导电类型的第3半导体区域和第2导电类型的第4半导体区域沿着所述第1方向交替排列的构造;
第1导电类型的第5半导体层,设置于所述第4半导体层之上;
第2导电类型的第6半导体层,设置于所述第5半导体层之上;
第1电极,隔着绝缘膜而与所述第6半导体层、所述第5半导体层以及所述第4半导体区域相接;
第2电极,与所述第6半导体层连接;以及
第3电极,与所述第1半导体层连接,
所述第1半导体区域与所述第3半导体区域连接,所述第2半导体区域与所述第4半导体区域连接,
所述第2半导体区域中包含的杂质元素的浓度高于所述第1半导体区域中包含的杂质元素的浓度,
所述第3半导体区域中包含的杂质元素的浓度高于所述第4半导体区域中包含的杂质元素的浓度,
所述第2半导体层的上端与所述第3半导体层和所述第4半导体层的界面之间的第1长度比所述界面与所述第5半导体层的下端之间的第2长度短。
2.一种半导体器件,其特征在于,具备:
第1导电类型的第1半导体层;
第2导电类型的第2半导体层,设置于所述第1半导体层之上;
第3半导体层,设置于所述第2半导体层之上,并且具有第1导电类型的第1半导体区域和第2导电类型的第2半导体区域沿着相对所述第1半导体层与所述第2半导体层的层叠方向垂直的第1方向交替排列的构造;
第4半导体层,设置于所述第3半导体层之上,并且具有第1导电类型的第3半导体区域和第2导电类型的第4半导体区域沿着所述第1方向交替排列的构造;
第1导电类型的第5半导体层,设置于所述第4半导体层之上;
第2导电类型的第6半导体层,设置于所述第5半导体层之上;
第1电极,隔着绝缘膜而与所述第6半导体层、所述第5半导体层以及所述第4半导体区域相接;
第2电极,与所述第6半导体层连接;以及
第3电极,与所述第1半导体层连接,
所述第2半导体区域中包含的杂质元素的浓度高于所述第1半导体区域中包含的杂质元素的浓度,
所述第3半导体区域中包含的杂质元素的浓度高于所述第4半导体区域中包含的杂质元素的浓度,
所述第2半导体层的上端与所述第3半导体层和所述第4半导体层的界面之间的第1长度比所述界面与所述第5半导体层的下端之间的第2长度短。
3.根据权利要求2所述的半导体器件,其特征在于,
所述第1半导体区域与所述第3半导体区域连接,所述第2半导体区域与所述第4半导体区域连接。
4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的半导体器件,其特征在于,
所述第1半导体区域以及所述第2半导体区域与所述第2半导体层相接。
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