[发明专利]基于衍射MEMS的高压环境光纤交流电场电压传感器无效
| 申请号： | 201310024143.1 | 申请日： | 2013-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN103777085A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 郝晋;单雪康 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100022 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 衍射 mems 高压 环境 光纤 交流 电场 电压 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一个基于衍射微电子机械系统可变光衰减器MEMSVOA(Micro-Electro-Mechanical System Variable Optical Attenuator)的，用于在高电压环境中探测交流电场强度或电压的光交流电场或交流电压传感器，包含：
一个具有稳定连续光波输出的光源；
一个把交流电场转换成交流电压信号的电容天线；
一个连接到电容天线并调制输入连续光波信号的衍射MEMS器件；
一个把接收到的光信号转变为电信号的光接收器。
2.根据权利要求1，一个光交流电场强度传感器具有一个电路：
这个电路将一个直流偏置电压和如上所述的电容天线提供的交流电压信号合并；
这个电路将电信号供给如上所述的衍射MEMS VOA；
这个电路包括热敏电阻，用来补偿权利要求一所述的衍射MEMS VOA调制深度的温度漂移。
3.一个基于MEMS VOA的光交流电压传感器由以下部分组成：
一个具有稳定连续波输出的光源；
一个电压分压器提供一个降低的电压；
一个衍射MEMS装置连接到这个电压分压器，并调制输入的连续光波信号。
4.根据权利要求3，一个分压器是一个电阻性的电压分压器或电容性的电压分压器。
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