[发明专利]处理装置和测试方法

权利要求书

1.一种处理装置，用于传送多个被测器件并将这些被测器件与设置于测试装置的测试头上的多个插座相连，其中包括：

位置调整部，用于在装载有所述多个被测器件的测试盘上使各个所述被测器件移动，并调整相对于各个所述插座的位置；及

器件装设部，用于将由所述位置调整部进行位置调整后的所述多个被测器件装设于所述多个插座上。

2.根据权利要求1所述的处理装置，其中包括：

加热部，用于载入装载有测试前的所述多个被测器件的所述测试盘；

测试部，作为对所述多个被测器件进行测试的空间，用于容纳从所述加热部传送来的所述测试盘；

所述位置调整部用于调整各个所述被测器件在所述加热部内的位置。

3.根据权利要求2所述的处理装置，其中：

所述加热部用于在进行测试之前将所述被测器件的温度控制到测试温度；

所述位置调整部用于调整被控制到测试温度的所述多个被测器件在所述加热部内的各自位置。

4.根据权利要求3所述的处理装置，其中进一步包括：多个温度控制单元，对应于所述多个被测器件被设置为多个，用于从各个所述被测器件与所述插座相连的端子面的相对面进行单独地加热或冷却。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的处理装置，其中：所述位置调整部具有致动器，用于对两个以上的所述被测器件分别进行巡检，并调整各个所述被测器件相对于所述插座的位置。

6.根据权利要求5所述的处理装置，其中：

所述测试盘用于将所述多个被测器件沿行方向及列方向设置并装载；

设置于行方向上的多个所述致动器用于分别依次调整列方向的两个以上的所述被测器件的位置。

7.根据权利要求5所述的处理装置，其中，所述测试盘分别与所述多个被测器件中的每一个相对应，并包括：

内单元，用于分别装载所述被测器件；及

外单元，具有锁定机构，用于在将所述内单元锁定与使所述内单元保持可移动之间进行机械切换；

所述位置调整部用于针对每个所述被测器件，由所述锁定机构释放所述内单元，并使所述内单元相对于所述外单元移动后，由所述锁定机构锁定所述外单元。

8.根据权利要求7所述的处理装置，其中，所述锁定机构包括：

释放针，设置于所述外单元的框架上，用于当释放所述内单元时被所述位置调整部进行按压；及

释放部，用于当所述释放针被按压时，解除对所述内单元的推压；

所述位置调整部包括推针部，用于对应于与所述内单元或所述外单元相嵌合的动作，按压所述释放针。

9.根据权利要求7或8所述的处理装置，其中包括：

器件摄像部，用于针对所述多个被测器件的每一个，对所述内单元及所述外单元进行拍摄；及

检出部，用于根据所述器件摄像部拍摄的图像，检测出所述内单元与所述外单元的相对位置；

所述致动器用于基于检测出的相对位置，调整所述内单元相对于所述外单元的位置。

10.权利要求9所述的处理装置，其中包括：插座摄像部，用于对位于所述测试头上的多个插座上的各个安装位置进行拍摄；

所述检出部用于将所述插座摄像部拍摄的图像与所述器件摄像部拍摄的图像进行比较，并检测出需要由所述位置调整部调整的被测器件以及需要调整的该被测器件的调整量。

11.一种测试方法，是对多个被测器件进行测试的测试方法，其中包括：

进行位置调整的步骤：在装载有所述多个被测器件的测试盘上使各个所述被测器件移动，并调整相对于相应插座的位置；

进行器件装设的步骤：将在所述位置调整步骤中进行位置调整后的所述多个被测器件装设于多个插座中；以及

进行测试的步骤：对装设于所述多个插座上的所述多个被测器件进行测试。