[发明专利]用于连续地沉积薄膜的设备

权利要求书

1.一种用于连续地沉积薄膜的设备，所述设备包括：

材料存储单元，所述材料存储单元存储有机材料；

材料预热单元，所述材料预热单元将填充有所述有机材料的坩埚预热至比所述有机材料的蒸发点低的温度；

材料传送单元，所述材料传送单元从所述材料存储单元接收预定量的有机材料，并且将所述有机材料传送到放置在所述材料预热单元中的所述坩埚；

材料蒸发单元，所述材料蒸发单元向所述坩埚供应热量并且蒸发填充在所述坩埚中的所述有机材料；以及

坩埚传送单元，所述坩埚传送单元将由所述材料预热单元预热的所述坩埚运入所述材料蒸发单元中或者将耗尽所述有机材料的所述坩埚运出所述材料蒸发单元。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述材料存储单元包括：

料斗，所述料斗存储所述有机材料；以及

料斗振动单元，所述料斗振动单元向所述料斗赋予预定大小的振动。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述材料预热单元包括：

第一容纳部和第二容纳部，所述第一容纳部和所述第二容纳部均设置有加热器并且容纳所述坩埚；以及

位置设定单元，所述位置设定单元使得所述第一容纳部或所述第二容纳部被选择性地放置在所述材料传送单元和所述材料蒸发单元之间的任意位置处。

4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述位置设定单元使得所述第一容纳部或所述第二容纳部在传送位置、备用位置和预热位置之间旋转，所述传送位置用于从所述材料传送单元接收所述有机材料，所述第一容纳部或所述第二容纳部在所述备用位置备用以在所述材料蒸发单元下方被运入或运出所述材料蒸发单元，并且所述预热位置被设置在所述传送位置和所述备用位置之间并且用于预热所述坩埚。

5.根据权利要求3所述的设备，其中，所述材料预热单元还包括预热传感器，所述预热传感器感测由所述第一容纳部或所述第二容纳部预热的所述坩埚中的所述有机材料的温度。

6.根据权利要求1所述的设备，其中，所述材料传送单元包括：

桶，所述桶暂时容纳从所述材料存储单元供应的所述有机材料；以及

传送单元，所述传送单元使得所述桶在填充位置和传送位置之间往复运动，所述填充位置用于在所述材料存储单元下方接收来自所述材料存储单元的所述有机材料，所述传送位置用于在所述材料预热单元上方将所述有机材料传送到所述材料预热单元。

7.根据权利要求6所述的设备，其中，所述桶包括设置在该桶的底部上的门单元，所述门单元在所述填充位置处关闭以保持所述有机材料并且在所述传送位置处打开以排出所述有机材料。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述材料蒸发单元包括：用于容纳所述坩埚的主体；用于围绕所述主体的横向侧的加热器；以及形成于所述主体的顶部上的喷嘴，所述喷嘴用于喷射在从所述加热器接收热量时蒸发的所述有机材料。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述材料蒸发单元还包括传感器，该传感器用于感测从所述坩埚蒸发的所述有机材料的蒸发速度。

10.根据权利要求1所述的设备，所述设备还包括防污染单元，所述防污染单元被安装在所述材料蒸发单元上方并且防止所述材料存储单元、所述材料传送单元、所述材料预热单元和所述材料蒸发单元被蒸发后的所述有机材料污染。