[发明专利]X射线检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种X射线检查装置。

背景技术

关于对安装有多个电子元件的印刷基板进行检查，如专利文献1、2所公开，利用X射线的X射线检查装置已为公知。在这种X射线检查装置中，为了防止受到X射线辐射，将检查室划分到实施了X射线屏蔽处理的外壳内，将X射线源和X射线相机设置在该检查室内，利用这些装置对作为检查对象的印刷基板照射X射线，拍摄X射线图像。为了将印刷基板送入检查室内或从检查室内送出，在外壳内设置有基板台，该基板台从基板输送机接纳印刷基板或将印刷基板交给基板输送机。

参照图15，专利文献1所公开的基板台60P设置有输送机单元70P，该输送机单元70P在与印刷基板W的送出送入方向(以下称为“X轴方向”)正交的基板宽度方向(以下称为“Y轴方向”)夹住印刷基板W。由于作为检查对象的印刷基板W的Y轴方向尺寸根据作为检查对象的印刷基板W不同而各式各样，因此，在专利文献1的基板台60P中设置有调整输送机单元70P的对置间隔的宽度调整机构。宽度调整机构通过由固定框71P和可动框72P构成而被具体化，其中该固定框71P将输送机单元70P固定于基板台60P的基座61P，该可动框72P相对于该固定框71P，能够沿着Y轴方向移位。于是，在将印刷基板W夹在固定框71P与可动框72P之间时，可动框72P沿着Y轴方向移位从而调整Y轴方向的尺寸。

专利文献1：日本专利公开公报特开2003-315288号

专利文献2：日本专利公开公报特开2002-189002号

发明内容

但是，近年来，随着印刷基板的高集成化的发展，以下的要求逐渐高涨，该要求是指即使在利用X射线对印刷基板进行透射检查时，除了沿着印刷基板的法线方向照射X射线而进行的透射拍摄(在该说明书中称为“直视拍摄”)之外，还并用使X射线相对于印刷基板的平面产生仰角，并从倾斜方向将X射线照射至重点检查部位而进行的透射拍摄(在该说明书中称为“斜视拍摄”)。

然而，对于像专利文献1那样，并用固定框71P和可动框72P来夹持多种印刷基板W的结构，在进行对应于直视拍摄和斜视拍摄这两者的X射线检查的情况下，用于确保使X射线通过所必需的开口的空间增大，有可能会导致装置整体的大型化。

图16是表示将省略图示的X射线源设置在上方，且将X射线相机可移动地设置在下方的X射线检查装置的剖面部分的比较图。图16(A)、图16(B)是本申请的发明所涉及的图，图16(C)、图16(D)是以往例所涉及的图。图16(C)、图16(D)例如示出以下的状态，即，采用图15所示的专利文献1的基板台60P，在X射线源与X射线相机50之间，用设置有供X射线通过的开口120的框架111P支撑着基板台60P。

对于图16(C)、图16(D)所示的方式，为了利用固定框71P来对应于斜视拍摄，如图16(C)的d2所示，需要预先确保供X射线通过的间隔d2，其结果，固定框71P被设置在始终堵住基座61P的开口的位置。因此，在无需斜视拍摄的情况下会产生固定框71P成为阻碍，制约直视拍摄可能的印刷基板W的宽度的问题。

本发明是鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种能够在并用斜视拍摄和直视拍摄的情况下，排除多余的制约的X射线检查装置。