[发明专利]具有铜/唑类聚合物抑制作用的微电子衬底清洁组合物

权利要求书

1.一种半水性的、pH≥8的碱性微电子清洁组合物，其包含：

(A)与水接触时生成氢氧化物的至少一种仲链烷醇胺；

(B)当以乙酸正丁酯的蒸发速率为基准速率1.0计，蒸发速率为0.3或更低的至少一种有机醇醚溶剂；

(C)至少一种抑制腐蚀的环状酰胺化合物；

(D)占该组合物重量的0.08％或更少的至少一种平衡pH的唑类金属腐蚀抑制剂；和

(E)水；

以及任选的

(F)至少一种多羟基酚类化合物腐蚀抑制剂；和

(G)至少一种包含邻位羟基或邻位巯基与所述至少一种多羟基酚类化合物腐蚀抑制剂配对的多元醇或多元硫醇表面改性剂，其条件为，如果在所述组合物中存在组分(F)，那么也存在组分(G)，但是所述组合物可以包含组分(G)而不含组分(F)。

2.根据权利要求1所述的半水性的碱性微电子清洁组合物，其中在所述组合物中同时存在任选组分(F)和(G)。

3.根据权利要求1所述的组合物，其中所述组合物的pH≥9.5。

4.根据权利要求1所述的组合物，其中所述仲链烷醇胺组分(A)在所述组合物中存在的量为约0.1重量％～约50重量％，所述有机醇醚溶剂(B)在所述组合物中存在的量为5重量％～约95重量％，所述环状酰胺腐蚀抑制剂组分(C)在所述组合物中存在的量为约5重量％～约70重量％，所述唑类金属腐蚀抑制剂组分(D)在所述组合物中存在的量为不超过0.07重量％，以及所述水组分(E)在所述组合物中存在的量为5重量％～约75重量％，其中所述重量百分比基于所述组合物的重量。

5.根据权利要求1所述的组合物，其中所述仲链烷醇胺组分(A)选自二乙醇胺、二异丙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-甲基乙醇胺及它们的混合物。

6.根据权利要求1所述的组合物，其中所述有机醇醚溶剂组分(B)选自乙二醇丁醚、二乙二醇单甲醚、卡必醇、丁基乙二醇、四乙二醇、二丙二醇甲基醚、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、二甘醇、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚、二丙二醇、二丙二醇单甲醚、乙二醇单异丙醚、乙二醇单苯醚、乙二醇单苄醚、三乙二醇甲基醚、三乙二醇乙基醚、三乙二醇丁基醚和它们的混合物。

7.根据权利要求6所述的组合物，其中所述有机醇醚溶剂组分(B)选自乙二醇丁醚、二乙二醇单甲醚、卡必醇、丁基乙二醇、四乙二醇、二丙二醇甲基醚和它们的混合物。

8.根据权利要求1所述的组合物，其中所述环状酰胺组分(C)选自N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、二甲基-2-哌啶酮、1-(2-羟乙基)-2-吡咯烷酮、β-内酰胺、γ-内酰胺、δ-内酰胺、ε-内酰胺、4-氨基戊酸内酰胺(γ-戊内酰胺)和它们的混合物。

9.根据权利要求8所述的组合物，其中所述环状酰胺组分(C)选自N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、二甲基-2-哌啶酮、1-(2-羟乙基)-2-吡咯烷酮和它们的混合物。

10.根据权利要求1所述的组合物，其中所述唑类组分(D)选自苯并三唑、烷基苯并三唑、苯并咪唑、四唑、羟基苯并三唑、羧基苯并三唑、2-巯基苯并三唑、2-巯基苯并咪唑、甲苯基三唑、巯基甲基苯并咪唑、1,2,4-三唑、3-氨基-1,2,4-三唑、1-苯基-1H-四唑-5-硫醇和它们的混合物。

11.根据权利要求10所述的组合物，其中所述唑类组分(D)选自苯并三唑、甲基苯并三唑、苯并咪唑、四唑、羟基苯并三唑、羧基苯并三唑、2-巯基苯并三唑、2-巯基苯并咪唑和它们的混合物。

12.根据权利要求12所述的组合物，其中所述多羟基酚类组分(F)选自邻苯二酚、连苯三酚、没食子酸、没食子酸烷基酯、烷基儿茶酚和它们的混合物，以及所述多元醇或多元硫醇组分(G)选自链烷二醇、链烷三醇、链烷二硫醇、苯基取代的链烷二醇、苯基取代的链烷三醇、苯基取代的链烷二硫醇和它们的混合物。

13.根据权利要求12所述的组合物，其中所述多羟基酚类组分(F)选自邻苯二酚、连苯三酚、没食子酸和它们的混合物，以及所述多元醇或多元硫醇组分(G)选自乙二醇、丙二醇、甘油、丁二醇、环己二醇，1,2-亚乙基二硫醇和它们的混合物。