[发明专利]树脂固化膜图案的形成方法、感光性树脂组合物、感光性元件、触摸面板的制造方法以及树脂固化膜

说明书

技术领域

本发明涉及树脂固化膜图案的形成方法、感光性树脂组合物、感光性元件、触摸面板的制造方法以及树脂固化膜。

背景技术

从个人电脑或电视的大型电子设备到汽车导航、手机、电子词典等小型电子设备以及OA/FA设备等的显示设备中都要使用液晶显示元件或触摸面板(触摸传感器)。这些液晶显示元件或触摸面板中设有由透明导电电极材料构成的电极。作为透明导电电极材料，已知有ITO(铟锡氧化物)、氧化铟及氧化锡，这些材料由于显示高的可见光透射率，因此作为液晶显示元件用基板等的电极材料成为主流。

触摸面板已经实用化了各种方式，近年来静电电容方式的触摸面板的利用不断发展。静电电容方式触摸面板中，当作为导电体的指尖接触到触摸输入面时，指尖与导电膜之间发生静电电容耦合，形成电容器。因此，静电电容方式触摸面板通过捕捉指尖接触位置处的电荷变化来检测其坐标。

特别是投影型静电电容方式的触摸面板，由于可进行指尖的多点检测，因此具备可进行复杂的指示这一良好的操作性，因其操作性的优良，作为手机或便携式音乐播放器等具有小型显示装置的设备中的显示面上的输入装置的利用不断发展。

一般来说，投影型静电电容方式的触摸面板中，为了表现利用X轴和Y轴的2维坐标，多个X电极和与该X电极正交的多个Y电极形成2层结构，作为该电极，使用ITO(铟锡氧化物)。

但是，由于触摸面板的边框区域是无法检测触摸位置的区域，因此将其边框区域的面积变窄是用于提高产品价值的重要要素。在边框区域上，为了传送触摸位置的检测信号，需要金属配线，而为了谋求边框面积的狭小化，需要将金属配线的宽度变窄。由于ITO的导电性不够高，因此通常金属配线由铜形成。

但是，上述那样的触摸面板在被指尖接触时，有时水分或盐分等腐蚀成分会从传感区域侵入到内部。腐蚀成分侵入到触摸面板的内部时，金属配线会腐蚀，有可能发生电极与驱动用电路间的电阻的增加或者断线。

为了防止金属配线的腐蚀，公开了在金属上形成有绝缘层的静电电容方式的投影型触摸面板(例如专利文献1)。该触摸面板中，利用等离子体化学气相沉积法(等离子体CVD法)在金属上形成二氧化硅层，防止了金属的腐蚀。但是，由于该手法使用等离子体CVD法，因此存在需要高温处理而使基材受到限定、制造成本变高等问题。

另外，作为在所需位置上设置抗蚀剂膜的方法，已知有在规定的基材上设置由感光性树脂组合物构成的感光层、并将该感光层进行曝光、显影的方法(例如专利文献2～4)。另外，在专利文献5及6中公开了通过上述方法形成触摸面板的保护膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-28594号公报

专利文献2：日本特开平7-253666号公报

专利文献3：日本特开2005-99647号公报

专利文献4：日本特开平11-133617号公报

专利文献5：日本特开2010-27033号公报

专利文献6：日本特开2011-232584号公报

发明内容

发明要解决的课题

利用感光性树脂组合物制作保护膜与等离子体CVD法相比，可期待成本的缩减。但是，如果还考虑到传感区域的保护，则在利用感光性树脂组合物制作保护膜时，树脂固化膜的色调或光透过性等透明性变得重要，要求可以形成固化后透明性尽可能高的膜的感光性树脂组合物。

另一方面，为了防止铜配线的腐蚀，需要形成透湿度低的保护膜，对于经布图的保护膜，为了降低透湿度，需要如照射活性光线的部分在规定的曝光量下可充分固化这样的提高感光性树脂组合物的感度。但是，在想要通过增加光聚合引发剂的量的方法来提高感度时，具有保护膜带有发黄的倾向，有损透明性。

另外，本发明人们发现了，在基材上将由感光性树脂组合物构成的感光层以厚度10μm以下的薄膜形成、通过将该感光层进行曝光、显影来布图时，具有析像度降低的倾向。此外，对于上述专利文献5或6记载的感光性树脂组合物，虽然可以形成薄的膜且透明性高的保护膜，但在形成图案的方面还有改善的余地。

本发明的目的在于提供可以形成即使是薄的膜也具有充分的析像度、透明性高且透湿度低的树脂固化膜图案的树脂固化膜图案的形成方法、感光性树脂组合物以及感光性元件。另外，本发明的目的还在于提供树脂固化膜、以及具备树脂固化膜图案作为触摸面板用电极的保护膜的触摸面板的制造方法。

用于解决课题的手段