[发明专利]用于气相传输沉积系统的给料器系统和给料方法

权利要求书

1.一种用于气相传输沉积系统的给料器系统，所述给料器系统包括：

粉末振动单元，用于提供粉末材料；

载气输入流线，用于将载气引导到粉末振动单元中；

输出流线，用于将粉末振动单元的输出物引导至蒸发器单元；以及

载气旁路流线，用于选择性地将气体引导至蒸发器单元中并绕开粉末振动单元，

颗粒过滤器，结合到载气旁路流线，以防止粉末从输出流线流入到载气旁路流线中。

2.如权利要求1所述的给料器系统，所述给料器系统还包括：

第一质量流控制器，结合到载气输入流线，以调节载气到粉末振动单元中的流；以及

第二质量流控制器，结合到载气旁路流线，以调节旁路载气到蒸发器单元中的流。

3.如权利要求2所述的给料器系统，所述给料器系统还包括：

流阀，结合到输出流线，以调节排出粉末振动单元的载气和粉末的组合的流。

4.如权利要求3所述的给料器系统，其中，流阀是断流阀，以阻止或允许载气和粉末的组合的流排出粉末振动单元。

5.如权利要求2所述的给料器系统，所述给料器系统还包括：

阀，结合到输出流线并结合到载气旁路流线，以调节进入到蒸发器单元的载气和/或粉末的流。

6.如权利要求2所述的给料器系统，所述给料器系统还包括：

互锁系统，用于控制系统的组件的操作。

7.如权利要求6所述的给料器系统，其中，互锁系统控制第一质量流控制器和第二质量流控制器的操作。

8.一种用于气相传输沉积系统的给料器系统，所述给料器系统包括：

粉末振动单元，用于提供粉末半导体材料；

载气输入流线，用于将载气引导至粉末振动单元；

工艺气体输入流线，用于将工艺气体引导至粉末振动单元中；以及

输出流线，用于将粉末振动单元的输出物引导至蒸发器单元；

载气旁路流线，用于选择性地将气体引导至蒸发器单元并绕开粉末振动单元；

颗粒过滤器，结合到载气旁路流线，以防止粉末从输出流线流入到载气旁路流线中。

9.如权利要求8所述的给料器系统，所述给料器系统还包括：

第一质量流控制器，结合到载气输入流线，以调节载气到粉末振动单元中的流；以及

第二质量流控制器，结合到工艺气体输入流线，以调节工艺气体到粉末振动单元中的流。

10.如权利要求8所述的给料器系统，所述给料器系统还包括：

第一质量流控制器，结合到载气输入流线，以调节载气到粉末振动单元中的流；

第二质量流控制器，结合到工艺气体输入流线，以调节工艺气体到粉末振动单元中的流；以及

第三质量流控制器，结合到载气旁路流线，以调节旁路载气到蒸发器单元中的流。

11.如权利要求10所述的给料器系统，所述给料器系统还包括：

流阀，结合到输出流线，以调节排出粉末振动单元的载气和粉末的组合的流。

12.如权利要求11所述的给料器系统，其中，流阀是断流阀，以阻止或允许载气和粉末的组合的流排出粉末振动单元。

13.如权利要求10所述的给料器系统，所述给料器系统还包括：

阀，结合到输出流线并结合到载气旁路流线，以调节进入到蒸发器单元的载气和/或粉末的流。

14.如权利要求10所述的给料器系统，所述给料器系统还包括：

互锁系统，用于控制所述粉末振动单元、第一质量流控制器、第二质量流控制器和第三质量流控制器中的至少一个的操作。

15.如权利要求14所述的给料器系统，其中，互锁系统还包括用于感测所述第一质量流控制器是打开还是关闭的传感器，其中，当第一质量流控制器关闭时，互锁系统关闭第二质量流控制器。

16.如权利要求14所述的给料器系统，其中，互锁系统还包括用于感测载气旁路流线中的压力的压力传感器，其中，当压力传感器感测到载气旁路流线中的压力超过预定值时，互锁系统关闭第三质量流控制器。