[发明专利]交流驱动静电吸盘

权利要求书

1.一种交流驱动静电吸盘，

具备：电介体基板，具有形成于载置被吸附物侧的主面的突起部与形成于所述突起部周围的底面部；以及

电极，设置在所述电介体基板，其中，

所述电极包括多个相互分离配设的电极元件，所述多个电极元件能够分别被施加相位各不相同的交流电压，

所述突起部根据所述多个电极元件的形状，按规定的间隔配置于所述主面上。

2.根据权利要求1所述的交流驱动静电吸盘，其中，

所述突起部存在于将所述多个电极元件投影到所述主面的投影面之上。

3.根据权利要求1所述的交流驱动静电吸盘，其中，

所述突起部存在于将所述多个电极元件投影到所述主面的投影面之上以外的位置。

4.根据权利要求2所述的交流驱动静电吸盘，其中，

所述多个电极元件分别具有延展的部分，

所述突起部在将所述多个电极元件投影到所述主面的投影面之上，存在于在所述部分的所述延展的方向延伸的中心线之上以外的位置。

5.根据权利要求3所述的交流驱动静电吸盘，其中，

设于所述多个电极元件中的邻接的电极元件之间的间隙具有延展的部分，

所述突起部在将所述间隙投影到所述主面的投影面之上，存在于在所述部分的所述延展的方向延伸的中心线之上以外的位置。

6.根据权利要求4所述的交流驱动静电吸盘，其中，

多个所述突起部在将所述多个电极元件投影到所述主面的投影面之上，存在于相对于所述中心线对称的位置。

7.根据权利要求5所述的交流驱动静电吸盘，其中，

多个所述突起部在将所述间隙投影到所述主面的投影面之上，存在于相对于所述中心线对称的位置。

8.根据权利要求2所述的交流驱动静电吸盘，其中，

设于所述多个电极元件中的邻接的电极元件之间的间隙具有延展的部分，

多个所述突起部在将所述多个电极元件投影到所述主面的投影面之上，存在于相对于在所述部分的所述延展的方向延伸的中心线对称的位置。

9.根据权利要求2所述的交流驱动静电吸盘，其中，

所述多个电极元件分别具有延展的部分，

所述突起部在将所述多个电极元件投影到所述主面的投影面之上，存在于在所述部分的所述延展的方向延伸的中心线之上。

10.根据权利要求3所述的交流驱动静电吸盘，其中，

设于所述多个电极元件中的邻接的电极元件之间的间隙具有延展的部分，

所述突起部在将所述间隙投影到所述主面的投影面之上，存在于在所述部分的所述延展的方向延伸的中心线之上。

11.根据权利要求1所述的交流驱动静电吸盘，其中，

配置于所述主面中央部的相互相邻的突起部彼此的间隔，与配置于所述主面外周部的相互相邻的突起部彼此的间隔相比较窄。

12.根据权利要求1所述的交流驱动静电吸盘，其中，

配置于所述主面中央部的相互相邻的电极彼此的间隔，与配置于所述主面外周部的相互相邻的电极彼此的间隔相比较窄。

13.根据权利要求1所述的交流驱动静电吸盘，其中，

在所述主面垂直观察时，配置于中央部的所述突起部的顶面的面积相对于所述主面的整个面积的比例，与配置于外周部的所述突起部的顶面的面积相对于所述主面的整个面积的比例相比较高。

14.根据权利要求1所述的交流驱动静电吸盘，其中，

配置于所述主面的外周部的所述突起部的直径，与配置于所述主面的中央部的所述突起部的直径相同或者与配置于所述主面的中央部的所述突起部的直径相比较大。

15.根据权利要求9所述的交流驱动静电吸盘，其中，

在所述主面垂直观察时，配置于所述主面的外周部的所述突起部，与配置于所述主面的中央部的所述突起部的排列图案相比，配置于朝外周方向选择性移动过的位置上。

16.根据权利要求10所述的交流驱动静电吸盘，其中，

在所述主面垂直观察时，配置于所述主面的外周部的所述突起部，与配置于所述主面的中央部的所述突起部的排列图案相比，配置于朝外周方向选择性移动过的位置上。