[发明专利]固体闪烁体及使用该固体闪烁体的电子束检测器

权利要求书

1.固体闪烁体，其特征在于，在含有稀土氧化物烧结体的固体闪烁体中，

该固体闪烁体的光输出从最大值变为该最大值的1/e需要的时间，即余辉时间为200ns以下。

2.权利要求1中所述固体闪烁体，其特征在于，所述稀土氧化物烧结体具有由下述通式（1）表示的组成：

[化1]

Ln_aX_bO_c：Ce（1）

（式中、Ln为选自Y、Gd及Lu的一种以上的元素，X为选自Si、Al及B的一种以上的元素，a、b及c满足1≤a≤5、0.9≤b≤6、2.5≤c≤13）。

3.权利要求1或2所述固体闪烁体，其特征在于，所述稀土氧化物烧结体具有由下述通式（2）表示的组成：

[化2]

Y₂O₃·β¹SiO₂：Ce（2）

（式中，β¹满足0.95＜β¹＜1.05）。

4.权利要求1或2所述的固体闪烁体，其特征在于，所述稀土氧化物烧结体具有由下述通式（3）表示的组成：

[化3]

α²Y₂O₃·β²Al₂O₃：Ce（3）

（式中，α²及β²满足1.45＜α²＜1.55、2.45＜β²＜2.55）。

5.权利要求1或2所述的固体闪烁体，其特征在于，所述稀土氧化物烧结体具有由下述通式（4）表示的组成：

[化4]

α³Y₂O₃·β³Al₂O₃：Ce（4）

（式中、α³及β³满足0.45＜α³＜0.55、0.45＜β³＜0.55）。

6.权利要求1或2所述的固体闪烁体，其特征在于，所述稀土氧化物烧结体具有由下述通式（5）表示的组成：

[化5]

α⁴Y₂O₃·β⁴Al₂O₃：Ce，Pr（5）

（式中，α⁴及β⁴满足0.45＜α⁴＜0.55、0.45＜β⁴＜0.55）。

7.权利要求1或2所述的固体闪烁体，其特征在于，所述稀土氧化物烧结体具有由下述通式（6）表示的组成：

[化6]

0.8Gd₂O₃·0.2Y₂O₃·β⁵SiO₂：Ce（6）

（式中，β⁵满足0.95＜β⁵＜1.05）。

8.权利要求1～7的任一项所述的固体闪烁体，其特征在于，所述稀土氧化物烧结体的平均晶体粒径为1～20μm。

9.权利要求1～8的任一项所述的固体闪烁体，其特征在于，所述稀土氧化物烧结体的相对密度为99％以上。

10.权利要求1～9的任一项所述的固体闪烁体，其特征在于，向光电子倍增管侧输出光的输出面的表面粗糙度Ra为0.3～10μm。

11.电子束检测器，其特征在于，使用权利要求1～10的任一项所述的固体闪烁体。

12.权利要求11所述的电子束检测器，其特征在于，具备光电子倍增管。

13.权利要求10～12的任一项所述的电子束检测器，其特征在于，在SEM装置中使用。