[发明专利]空中搬运车有效
申请号: | 201280023186.1 | 申请日: | 2012-03-02 |
公开(公告)号: | CN103534798A | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 藤原佑辅;椿达雄 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B61B3/02;B61B13/06;B65G1/04;B65G49/07 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 陈伟;金杨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 空中 搬运车 | ||
技术领域
本发明涉及在例如清洁室中将安装有拆装自如的盖的被搬运物(收纳有多枚半导体晶片的晶片盒等)沿着搬运路径进行搬运的空中搬运车。
背景技术
作为以往的空中搬运车,公知有例如专利文献1所记载的空中搬运车。在专利文献1所记载的空中搬运车中,在收纳被搬运物而进行搬运时,通过盖落下防止部件防止盖从被搬运物落下。该盖落下防止部件通过执行机构而转动,使得在被搬运物被收纳时该盖落下防止部件位于被搬运物的盖的前方,在被搬运物被升降时该盖落下防止部件从被搬运物的盖的前方退避。
在先技术文献
专利文献1:国际公开第2009/141976号
通过上述的空中搬运车,能够防止在被搬运物的搬运时盖落下,还能够防止在被搬运物的升降时阻碍升降动作,但是,为了使盖落下防止部件转动,需要专用的执行机构。因此,特别是在比较小型的空中搬运车中,一直寻求结构的简化。
发明内容
因此,本发明的目的在于提供一种空中搬运车,该空中搬运车能够以简易的结构来防止在被搬运物的搬运时作为被搬运物的一部分的盖落下,并能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。
本发明的空中搬运车是一种将安装有拆装自如的盖的被搬运物沿着搬运路径搬运的空中搬运车,其特征在于,包括:主体部,该主体部收纳被搬运物并沿着搬运路径行驶;升降机构,该升降机构具有保持被搬运物的保持部、以及相对于收纳被搬运物的规定位置使保持部升降的升降部;盖落下防止部件,该盖落下防止部件在保持部配置于规定位置时与盖相对;和移动机构,该移动机构以当保持部配置于规定位置时盖落下防止部件配置在防止盖落下的第1位置、当保持部相对于规定位置升降时盖落下防止部件配置在比第1位置离盖远的第2位置的方式,从动于保持部的升降动作而使盖落下防止部件移动。
在该空中搬运车中,在保持被搬运物的保持部被配置于规定位置时,盖落下防止部件配置在防止盖落下的第1位置。由此,能够防止在被搬运物的搬运时盖落下。另一方面,在保持被搬运物的保持部相对于规定位置升降时,盖落下防止部件配置在比第1位置离盖远的第2位置。由此,能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。而且,移动机构从动于保持部的升降动作而在第1位置与第2位置之间使盖落下防止部件移动。由此,通过该空中搬运车,能够通过简易的结构来防止在被搬运物的搬运时盖落下,还能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。
另外,在本发明的空中搬运车中,也可以是,移动机构具有:安装有盖落下防止部件并在前进位置与后退位置之间摆动的第1摆动部;和与第1摆动部连结并在上升位置与下降位置之间摆动的第2摆动部,当保持部上升以规定位置为基点的规定的距离时,第2摆动部从下降位置向上升位置摆动,并且第1摆动部从后退位置向前进位置摆动,由此盖落下防止部件从第2位置向第1位置移动,当保持部下降规定的距离时,第2摆动部从上升位置向下降位置摆动,并且第1摆动部从前进位置向后退位置摆动,由此盖落下防止部件从第1位置向第2位置移动。通过该结构,能够谋求移动机构的结构简化,使移动机构的机械性动作的可靠性提高。
另外,在本发明的空中搬运车中,也可以是,移动机构以在外力朝着第2位置而作用于配置在第1位置的盖落下防止部件上的情况下盖落下防止部件向第2位置侧仅移动规定的量的方式,支承盖落下防止部件,移动机构具有检测盖落下防止部件的向第2位置侧的位移的位移检测部。通过该结构,一旦在例如搬运时盖就要从被搬运物脱落,配置在第1位置的盖落下防止部件就会向第2位置侧移动。此时,通过位移检测部能够检测出盖落下防止部件的向第2位置侧的位移,所以能够知晓盖就要从被搬运物脱落的情况。由此,能够迅速地采取使盖眼看就要脱落的状态下的空中搬运车的行驶中止、使被搬运物的搬运停止并将盖重新盖在被搬运物上的措施。
另外,在本发明的空中搬运车中,盖落下防止部件中至少与盖相对的部分也可以由具有挠性的片状部件构成。通过该结构,在设置盖落下防止部件时,能够抑制盖落下防止部件从主体部突出。另外,即使盖从被搬运物脱落,也能够可靠地承挡盖。进一步讲,即使盖落下防止部件万一与外部设备等接触,也由于盖落下防止部件容易变形而能够防止给外部设备等带来损伤。
发明的效果
根据该结构,能够以简易的结构迅速地检测到在被搬运物的搬运时盖就要脱落的情况并能够防止盖落下,还能够防止在被搬运物的升降时升降动作受到阻碍。
附图说明
图1是本发明的一实施方式的空中搬运车的侧视图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造