[发明专利]用于气体输送的方法和设备

权利要求书

1.一种气体输送系统，所述气体输送系统包括：

安瓿，所述安瓿用于储存固态或液态的前驱物；

第一导管，所述第一导管耦接至所述安瓿，且所述第一导管具有耦接至第一气源的第一末端，以将所述前驱物的蒸气从所述安瓿抽取到所述第一导管中；

第二导管，所述第二导管在位于所述安瓿下游的第一接合处耦接至所述第一导管，且所述第二导管具有第一末端和第二末端，所述第一末端耦接至第二气源，而所述第二末端耦接至处理腔室；和

热源，所述热源配置成加热所述安瓿和从所述安瓿至所述第二导管的所述第一导管的至少第一部分，以及加热所述第二导管的仅第二部分，其中所述第二导管的所述第二部分包括所述第一接合处。

2.如权利要求1所述的气体输送系统，所述气体输送系统进一步包括：

第一流量控制器，所述第一流量控制器在所述第一导管的所述第一末端与所述安瓿之间耦接至所述第一导管；和

第二流量控制器，所述第二流量控制器耦接至所述第二导管。

3.如权利要求2所述的气体输送系统，其中所述第二流量控制器设置在所述第二导管的所述第一末端与所述第一接合处之间，且所述气体输送系统进一步包括：

调压器，所述调压器设置在所述第一接合处与所述第二导管的所述第二末端之间的所述第二导管中，以调节所述调压器与所述第二流量控制器之间的所述第二导管中的压力。

4.如权利要求3所述的气体输送系统，所述气体输送系统进一步包括：

第三导管，所述第三导管在所述第一接合处与所述调压器之间的第二接合处耦接至所述第二导管，所述第三导管具有第一末端和第二末端，所述第一末端耦接至所述第二接合处，而所述第二末端耦接至气孔；

浓度传感器，所述浓度传感器耦接至所述第三导管以测定经由所述第二导管流向所述处理腔室的前驱物气体混合物中的前驱物的浓度；和

流量限制器，所述流量限制器设置在所述浓度传感器与所述第三导管的所述第二末端之间的所述第三导管中。

5.如权利要求2所述的气体输送系统，其中所述第二流量控制器设置在所述第一接合处与所述第二导管的所述第二末端之间，且所述气体输送系统进一步包括：

调压器，所述调压器设置在所述第二导管的所述第一末端与所述第一接合处之间，以调节所述调压器与所述第二流量控制器之间的所述第二导管中的压力。

6.如权利要求5所述的气体输送系统，所述气体输送系统进一步包括：

第三导管，所述第三导管在所述第一接合处与所述第二流量控制器之间的第二接合处耦接至所述第二导管，所述第三导管具有第一末端和第二末端，所述第一末端耦接至所述第二接合处，而所述第二末端耦接至气孔；

浓度传感器，所述浓度传感器耦接至所述第三导管以测定经由所述第二导管流向所述处理腔室的前驱物气体混合物中的前驱物的浓度；和

流量限制器，所述流量限制器设置在所述浓度传感器与所述第三导管的所述第二末端之间的所述第三导管中。

7.如权利要求1所述的气体输送系统，所述气体输送系统进一步包括：

第三接合处，所述第三接合位于或邻近所述第二导管的所述第二末端；和

第四导管，所述第四导管具有第一末端和第二末端，所述第一末端耦接至所述第三接合处，而所述第二末端耦接至气孔。

8.一种将前驱物输送至处理腔室的方法，所述方法包括以下步骤：

当使第一气体流动时，汽化前驱物以在第一加热容积中形成浓缩前驱物气体混合物；

在第二加热容积中将所述浓缩前驱物气体混合物与第二气体混合，以形成稀释前驱物气体混合物，其中在大约25摄氏度下，所述稀释前驱物气体混合物中的所述前驱物的分压小于所述前驱物的蒸气压；和

使所述稀释前驱物气体混合物经由非加热的第三容积流动至处理腔室。