[发明专利]用于多维地测量目标对象的测量装置和测量设备

权利要求书

1.用于目标对象的多维测量的测量装置（10），尤其是手持式测量装置，其中顺序地进行至该目标对象的单个对象点的距离测量，尤其是借助测量相位的系统进行所述测量，该测量装置至少具有：

用于将光学测量射线（13）发送到目标对象（15）上的发送装置（12）；

带有用于探测由目标对象（15）返回的光学测量射线（16）的探测面（110）的接收装置（14）；

扫描系统，用于偏转所述光学测量射线，

以及分析装置（36），用于确定距离测量值，

其特征在于，

所述接收装置的探测面（110）具有大量像素（111）,其中每个像素（111）具有至少一个SPAD（101），并且其中所述大量像素（111）中的每个与该分析装置（36）连接。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述扫描系统具有至少一个Galvano扫描仪。

3.根据权利要求1或2所述的测量装置，其特征在于，所述扫描系统对于测量装置的发送路径和接收路径各具有一个Galvano扫描仪。

4.根据权利要求1、2或3所述的测量装置，其特征在于，所述扫描系统对于测量装置的发送路径和接收路径各具有一个Galvano扫描仪。

5.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述发送装置（12）和所述接收装置（14）被设计为，使得由目标对象（15）返回的光学测量射线（16）同时照明多个像素（111）。

6.根据权利要求1或2所述的测量装置，其特征在于，所述分析装置（36）被设计为，基于多个像素（111）的探测信号的分析来求得在测量装置（10）和目标对象（15）之间的距离（48）。

7.根据前述权利要求之一所述的测量装置，其中，所述分析装置（36）具有至少一个距离确定装置（130），所述距离确定装置被设计用于求得测量射线（13,16）在发送装置（12）的发送至由目标对象（15）返回的测量射线（16）的探测之间的飞行持续时间并且从该飞行持续时间中确定距离。

8.根据前述权利要求之一所述的测量装置，其中，多个像素（111）与一个距离确定装置（130）连接并且该距离确定装置（130）被设计用于基于多个像素（111）的探测信号来确定距离。

9.根据权利要求1所述的测量装置，其中，所述分析装置（36）具有多个距离确定装置（130），并且所述分析装置（36）被设计用于基于由这些距离确定装置（130）确定的距离来确定在测量装置（10）和目标对象（15）之间的距离（48）。

10.根据权利要求1至9之一所述的测量装置，其中至少几个像素（111）分别包含多个SPAD（101）。

11.根据权利要求10所述的测量装置，还具有至少一个组合器（160），所述至少一个组合器被设计用于将包含在单个像素（111）中的SPAD（101）的探测信号组合。

12.根据权利要求10或11所述的测量装置，还具有至少一个脉冲缩短器，以便在时间上缩短由SPAD生成的数字信号。

13.根据权利要求10 ，11或12所述的测量装置，其中在一个像素（111）中包含的SPAD（101）的数量根据该像素（111）在接收装置（14）的探测面（110）内的位置而变化。

14.根据权利要求10至13之一所述的测量装置，其中在一个像素（111）中包含的SPAD（101）的面积根据该像素（111）在接收装置（14）的探测面（110）内的位置而变化。

15.根据权利要求13或14所述的测量装置，其中在一个像素（111）中包含的SPAD（101）的数量在靠近发送装置（12）的像素（111）中比在远离发送装置（12）的像素（111）中小。

16.根据权利要求13至15之一所述的测量装置，其中在一个像素（111）中包含的SPAD（101）的数量在靠近探测面（110）中心（122）的像素（111）中比在远离探测面（110）中心（122）的像素（111）中小。