[实用新型]一种晶圆传输机械手测试装置

权利要求书

一种晶圆传输机械手测试装置，其特征在于：它包括一支架、一测试手叉、一类晶圆震动感应器和控制系统；所述支架包括一底座，所述底座上固定连接一立柱，所述立柱的上部横向连接一上连接杆，所述上连接杆的伸出端连接一位移传感器；所述立柱的下部横向连接一下连接杆，所述下连接杆的伸出端连接一图像传感器；所述位移传感器和图像传感器分别电连接控制系统；所述测试手叉包括一片状的手腕、手掌和定位板；所述手腕后部设置有连接被测机械手手臂的若干通透的弧形孔，所述弧形孔前方的手腕上设置有若干长圆孔，与各所述长圆孔对应，所述手掌的后部设置若干连接所述手腕的螺栓孔；所述手掌的中部设置有一向下的台阶，所述手掌前部底面设置具有定位标识和标定标识的一定位板；以所述定位标识的中心为圆心，在所述手掌的顶面设置有一圆形凹台，所述圆形凹台内设置一集成有加速度传感器的类晶圆震动感应器，所述加速度传感器无线连接所述控制系统，所述类晶圆震动感应器顶面的中心设置有一标定物。

如权利要求1所述的一种晶圆传输机械手测试装置，其特征在于：所述手腕上底面设置有一环形的凹缘，所述弧形孔位于所述凹缘内的同一圆周上。

如权利要求1所述的一种晶圆传输机械手测试装置，其特征在于：所述机械手掌的前部设置有一开口，使所述手掌前部形成间隔设置的两手指。

如权利要求2所述的一种晶圆传输机械手测试装置，其特征在于：所述机械手掌的前部设置有一开口，使所述手掌前部形成间隔设置的两手指。

如权利要求1或2或3或4所述的一种晶圆传输机械手测试装置，其特征在于：所述立柱与所述上、下连接杆的连接、所述上连接杆与所述位移传感器的连接和所述下连接杆与所述图像传感器的连接，均采用能够开合的锁紧件连接。