[实用新型]一种紫外激光能量衰减器

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光器技术领域，更具体的说是涉及一种固体激光器的能量衰减装置，尤其是涉及一种紫外激光能量衰减器。

背景技术

使用电光调Q的固体激光器具有较高的峰值功率和较紧凑的结构，在科研、加工、医学、军事等方面有着广泛的应用。

很多应用情况下，激光器使用者需要在不改变激光器模式、光束质量的前提下调节能量的大小，这时多采用一种传统的能量调节方式，如图1所示，入射激光依次经过相对应波长的1/2波片7和偏振片8，通过调节1/2波片的轴向，改变入射激光的偏振方向，根据不同偏振方向的激光经过偏振片时的透射率不同，对入射激光的能量进行调节。

在使用以上传统方法对于紫外激光进行能量调节时，发现对于大能量的脉冲紫外激光，没有损伤阈值足够高的紫外波长偏振片，在大能量脉冲紫外激光的轰击下，现在能够做出的紫外偏振片会很快出现损伤并被破坏，无法长期使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于设计一种新型的紫外激光能量衰减器，解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种紫外激光能量衰减器，包括沿激光入射方向依次放置在激光器的入射光轴上的1/2波片、石英片堆和激光吸收器，所述1/2波片以所述入射光轴为中心可旋转设置，所述石英片堆的各镜片入射面的法线与所述入射光轴成布儒斯特角摆放。

所述激光入射方向与所述1/2波片的入射角小于5度，所述1/2波片安装在以所述入射光轴为中心旋转的转台上。

所述转台是手动驱动或电机驱动，当为电机驱动时，驱动电机为步进电机、直流电机或伺服电机。

所述1/2波片，其波长为355nm、266nm、或351nm波长。

所述1/2波片或者具有对入射激光的0度减反膜，或者不镀膜。

所述石英片堆由4片到10片数量能够增减的石英镜片组成，所述石英镜片不镀膜，材质为紫外波段透过率高的石英，所述石英镜片的形状为圆形、椭圆形或多边形。

每片所述石英镜片的两个光学表面间成一定楔角，楔角度数典型值为10分到3度之间的任意角度值。

所述石英片堆的每片镜片入射面的法线均与入射激光成布儒斯特角摆放。

所述激光吸收器安置在石英片堆两侧。

所述激光器采用波长为355nm、266nm或351nm的激光光源。

本实用新型中，1/2波片可以改变输入的紫外激光的偏振方向，由于不同偏振方向的激光经过石英片堆时的反射率不同，实现通过偏振方式对于紫外激光能量的连续调节。此外，在本实例中，光学元件损伤阈值高，性能稳定，适用于大能量密度的激光使用。

本实用新型的有益效果可以总结如下：

1，本实用新型中，1/2波片可以改变输入的紫外激光的偏振方向，由于不同偏振方向的激光经过石英片堆时的反射率不同，实现通过偏振方式对于紫外激光能量的连续调节。

2，本实用新型光学元件损伤阈值高，性能稳定，适用于大能量密度的激光使用。

附图说明

图1为一种传统的激光能量偏振衰减器示意图；

图2为本实用新型紫外激光能量衰减器结构示意图；

图3至图6分别主视方向、俯视方向、左视方向和右视方向的本实用新型紫外激光能量衰减器机械结构多视角2D示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。