[实用新型]一种紫外激光能量衰减器

权利要求书

1.一种紫外激光能量衰减器，包括沿激光入射方向依次放置在激光器的入射光轴上的1/2波片、石英片堆和激光吸收器，其特征在于：所述1/2波片以所述入射光轴为中心可旋转设置，所述石英片堆的各镜片入射面的法线与所述入射光轴成布儒斯特角摆放。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述激光入射方向与所述1/2波片的入射角小于5度，所述1/2波片安装在以所述入射光轴为中心旋转的转台上。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述转台是手动驱动或电机驱动，当为电机驱动时，驱动电机为步进电机、直流电机或伺服电机。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述1/2波片，其波长为355nm、266nm、或351nm波长。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述1/2波片或者具有对入射激光的0度减反膜，或者不镀膜。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述石英片堆由4片到10片数量能够增减的石英镜片组成，所述石英镜片不镀膜，材质为紫外波段透过率高的石英，所述石英镜片的形状为圆形、椭圆形或多边形。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于：每片所述石英镜片的两个光学表面间成一定楔角，楔角度数典型值为10分到3度之间的任意角度值。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于：所述石英片堆的每片镜片入射面的法线均与入射激光成布儒斯特角摆放。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述激光吸收器安置在石英片堆两侧。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述激光器采用波长为355nm、266nm或351nm的激光光源。