[实用新型]软X射线管以及具有该软X射线管的光离子静电消除器

权利要求书

1.软X射线管，由端窗输出式阳极组件（1）、真空密封组件（2）、阴极组件（3）组成；其特征在于：所述阴极组件（3）包括阴极托（33）、平板芯柱（34）、分别固定在平板芯柱（34）上的灯丝（31）和阴极托（33）以及与阴极托（33）焊接连接的阴极罩（32），所述平板芯柱（34）的结构为将多根芯柱固定在平板上的结构，所述灯丝（31）焊接在芯柱的顶端，所述阴极托（33）固定在芯柱上靠近平板的位置；所述阳极组件（1）包括一面具有厚度为纳米级金属薄膜靶层的铍片（11）和阳极焊接件（12），所述铍片（11）具有纳米级的金属薄膜靶层的一面朝向所述阴极组件（3）并焊接在阳极焊接件（12）上；所述真空密封组件（2）包括结构为两端开口的筒状结构的玻璃壳（22）和与所述玻璃壳（22）的一端封接在一起的可伐构件（21）；所述阳极焊接件（12）与所述可伐构件（21）焊接在一起，所述玻璃壳（22）的另一端与平板芯柱（34）的平板封接在一起，所述阴极组件（3）的灯丝（31）位于真空密封组件（2）内部。

2.根据权利要求1所述的软X射线管，其特征在于：所述纳米级金属薄膜靶层是采用离子束溅射沉积的方法沉积在铍片（11）上的。

3.根据权利要求2所述的软X射线管，其特征在于：所述金属薄膜靶层为钨薄膜靶层，所述钨薄膜靶层的厚度为50nm~4000nm。

4.根据权利要求2所述的软X射线管，其特征在于：所述金属薄膜靶层为钼、铜、铁、镍、铬、银金属薄膜中的一种。

5.一种光离子静电消除器，其特征在于，其发射源为权利要求1所述的软X射线管。